[发明专利]用于移除粘合剂层的单元及其使用方法

权利要求书

1.一种用于移除在处理室中形成的粘合剂层的单元，所述单元包括：

超声波发生器；以及

擦拭件，所述擦拭件浸泡在清洁液中，

其中所述擦拭件被提供来包围所述超声波发生器。

2.根据权利要求1所述的单元，其中所述超声波发生器还包括手柄和振动发生器，所述振动发生器从所述手柄延伸并且产生超声波，在所述振动发生器中包括振动器，并且

其中所述擦拭件包围所述振动发生器。

3.根据权利要求1所述的单元，其中所述粘合剂层被提供为丙烯酸材料。

4.根据权利要求1所述的单元，其中所述清洁液被提供为有机溶剂。

5.根据权利要求1所述的单元，其中所述清洁液被提供为溶解所述粘合剂层的材料。

6.根据权利要求5所述的单元，其中所述清洁液被提供为乙醇。

7.根据权利要求1所述的单元，其中所述处理室被提供为金属材料。

8.根据权利要求1所述的单元，其中所述处理室包括：

第一主体和第二主体，所述第一主体和所述第二主体进行组合而具有用于处理基板的内部空间；

抗摩擦层，所述抗摩擦层在所述第一主体与所述第二主体之间的交界处形成；以及

所述粘合剂层，所述粘合剂层用于将所述抗摩擦层与所述第一主体或所述第二主体进行粘合，

其中所述抗摩擦层被提供为聚酰亚胺。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的单元，其中所述处理室使用超临界液体来干燥设置在所述处理室中的所述基板。

10.一种使用根据权利要求1所述的单元来移除粘合剂层的方法，所述方法包括：

用浸泡有所述清洁液的所述擦拭件包裹所述超声波发生器；以及

使所述擦拭件接触所述粘合剂层，同时向所述擦拭件提供超声波，以在一定方向上推动所述擦拭件。

11.根据权利要求10所述的移除粘合剂层的方法，其中所述超声波发生器还包括手柄和振动发生器，所述振动发生器从所述手柄延伸并且产生超声波，在所述振动发生器中包括振动器，并且

其中所述擦拭件包围所述振动发生器。

12.根据权利要求10所述的移除粘合剂层的方法，其中所述粘合剂层被提供为丙烯酸材料。

13.根据权利要求10所述的移除粘合剂层的方法，其中所述清洁液被提供为溶解所述粘合剂层的材料。

14.根据权利要求10所述的移除粘合剂层的方法，其中所述清洁液被提供为有机溶剂。

15.根据权利要求10所述的用于移除粘合剂层的方法，其中所述清洁液被提供为乙醇。

16.根据权利要求10所述的移除粘合剂层的方法，其中所述处理室被提供为金属材料。

17.根据权利要求10所述的移除粘合剂层的方法，其中所述处理室包括：

第一主体和第二主体，所述第一主体和所述第二主体进行组合而具有用于处理基板的内部空间；

抗摩擦层，所述抗摩擦层在所述第一主体与所述第二主体之间的交界处形成；以及

所述粘合剂层，所述粘合剂层用于将所述抗摩擦层与所述第一主体或所述第二主体进行粘合，

其中所述抗摩擦层被提供为聚酰亚胺。

18.根据权利要求10至权利要求17中任一权利要求所述的移除粘合剂层的方法，其中所述处理室使用超临界液体来干燥设置在所述处理室中的所述基板。