[发明专利]一种半导体光电化学传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111073125.3 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN113804627A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 谢鹏程;张剑桥;陆前军;康凯 | 申请（专利权）人： | 广东中图半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N27/30 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 严慧 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种半导体光电化学传感器及其制备方法，该传感器包括：工作电极、对电极、参比电极和电化学工作站；工作电极、对电极和参比电极分别与电化学工作站电连接，工作电极与对电极电连接，对电极与参比电极电连接；工作电极包括：导电基底和位于导电基底一侧的图案化半导体异质层，图案化半导体异质层背离导电基底的一侧表面包括多个微结构；工作电极与对电极平行对置，多个微结构面向对电极，参比电极位于对电极远离工作电极的一侧。本发明实施例提供的半导体光电化学传感器，具有较高的响应速率及检测极限，稳定性好且可重复性高，适合工业化批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 电化学传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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