[发明专利]半导体工艺设备及其片舟存储装置

摘要

本申请实施例提供了一种半导体工艺设备的片舟存储装置。该片舟存储装置中，支撑结构包括两个对称设置的支撑组件，两个支撑组件用于承载片舟；两个支撑组件相对两侧的顶部位置均设置有导向结构，用于与片舟的两端配合导向，以使片舟落入两个支撑组件之间；滑动结构设置于两个支撑组件的底部，当片舟与导向结构配合导向时，两个支撑组件能通过滑动结构沿第一方向滑动，以使片舟落入两个支撑组件之间；复位结构与支撑结构连接，用于限定支撑结构在第一方向上的位置，当片舟承载于两个支撑组件之间，并且支撑结构发生滑动时，复位结构能带动支撑结构复位。本申请实施例能避免机械手与片舟发生碰撞，进而维持系统自动化运行的稳定性。