[发明专利]一种场效应管、其制备方法及电子电路在审
| 申请号： | 202111001372.2 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN115732544A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 易洪昇;杨钢宜;黄惠东;王汉星 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/40 | 分类号： | H01L29/40;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/778;H01L21/335 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 李若兰 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种场效应管、其制备方法及电子电路，场效应管包括：在衬底上依次层叠的沟道层、控制栅极、钝化层、栅金属层、层间介质层、源漏金属层；其中，栅金属层包括间隔设置的金属栅极和台阶，源漏金属层包括源极、漏极以及与源极电连接的场板，场板从源极向漏极一侧延伸且与漏极断开设置，场板具体包括在衬底上的正投影位于金属栅极与漏极之间的一阶场板和二阶场板，二阶场板为覆盖台阶的部分，一阶场板为除了二阶场板之外的部分。通过在栅金属层中形成金属栅极图案的同时增加形成台阶的图案，使源漏金属层覆盖台阶的部分被垫高形成二阶场板，这样整个场板的加工只需要通过一次构图工艺，减少了场板制备工艺的复杂度和工业成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 场效应 制备 方法 电子电路 | ||
【主权项】：
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