[发明专利]一种化合物半导体芯片的测试装置

摘要

本发明公开了一种化合物半导体芯片的测试装置，包括主支架，所述主支架左侧安装有伺服电机，所述主轴中间外侧焊接有转板，所述主支架上方设置有可对半导体芯片进行检测的测试机构，且所述测试机构包括焊接在所述锥形齿轮上方内侧的从动轴，所述从动轴上方外侧均固定有绝缘转盘和传动齿轮，所述主支架正前方设置有可对半导体芯片表面消除静电的静电消除机构。本发明，设置有测试机构，通过主轴旋转时还能带动锥形齿轮、从动轴和传动齿轮旋转，从而能够有效的带动两个绝缘转盘和导电环同时反向旋转，与现有的化合物半导体芯片的测试装置，既可以对其进行测试导电性能，又能对其检测厚度尺寸，同时提高了芯片本体的检测效率。