[发明专利]金属遮罩及其检测方法有效
| 申请号： | 202110985240.1 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN113652634B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 杨芸佩;李美伦;林文宜 | 申请（专利权）人： | 达运精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;B07C5/34;H10K71/16;H10K50/11 |
| 代理公司： | 北京市立康律师事务所 11805 | 代理人： | 梁挥;孟超 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种金属遮罩及其检测方法。在此检测方法中，首先，提供金属遮罩，其具有第一长边、第二长边、第一短边、第二短边与多个图案区。接着，根据邻近第一长边与第二长边的这些图案区，定义第一基准直线与第二基准直线，其中第一基准直线邻近第一长边，而第二基准直线邻近第二长边。接着，量测邻近第一长边的这些图案区与第一基准直线之间的第一最大偏移长度。量测邻近第二长边的这些图案区与第二基准直线之间的第二最大偏移长度。当第一最大偏移长度与第二最大偏移长度之间的相差值小于或等于20微米时，判断金属遮罩为符合检测标准。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 及其 检测 方法 | ||
【主权项】：
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