[发明专利]金属遮罩及其检测方法

权利要求书

1.一种金属遮罩的检测方法，包括：

提供一金属遮罩，其中该金属遮罩具有彼此相对的一第一长边与一第二长边、彼此相对的一第一短边与一第二短边以及多个图案区，其中该第一长边、该第二长边、该第一短边与该第二短边围绕该些图案区；

根据邻近该第一长边与该第二长边的该些图案区，定义一第一基准直线与一第二基准直线，其中该第一基准直线邻近该第一长边，并沿着该第一长边延伸，该第二基准直线邻近该第二长边，并沿着该第二长边延伸；

量测邻近该第一长边的该些图案区与该第一基准直线之间的一第一最大偏移长度，其中该第一最大偏移长度与该第一基准直线垂直；

量测邻近该第二长边的该些图案区与该第二基准直线之间的一第二最大偏移长度，其中该第二最大偏移长度与该第二基准直线垂直；以及

当该第一最大偏移长度与该第二最大偏移长度之间的相差值小于或等于20微米，且该第一最大偏移长度与该第二最大偏移长度皆小于或等于30微米时，判断该金属遮罩符合一检测标准；

其中，该第一长边与该第一短边之间形成一第一角落；该第一长边与该第二短边之间形成一第二角落；该第二长边与该第一短边之间形成一第三角落；该第二长边与该第二短边之间形成一第四角落；该第一基准直线的两端点分别临近第一角落和第二角落，该第二基准直线的两端点分别临近第三角落和第四角落。

2.如权利要求1所述的金属遮罩的检测方法，还包括：

根据邻近该第一短边的该些图案区，定义一第三基准直线，其中该第三基准直线邻近该第一短边，并沿着该第一短边延伸；

量测邻近该第一短边的该些图案区与该第三基准直线之间的一第三最大偏移长度，其中该第三最大偏移长度与该第三基准直线垂直；

当该第三最大偏移长度小于或等于10微米时，判断该金属遮罩符合该检测标准；以及

当该第三最大偏移长度大于10微米时，判断该金属遮罩为不合格遮罩。

3.如权利要求1所述的金属遮罩的检测方法，其中该些图案区呈规则排列。

4.如权利要求1所述的金属遮罩的检测方法，其中该第一基准直线的两端点分别邻近该第一短边与该第二短边，而该第二基准直线的两端点也分别邻近该第一短边与该第二短边。

5.如权利要求1所述的金属遮罩的检测方法，其中该些图案区分别具有多个周缘，该第一最大偏移长度为邻近该第一长边的该些周缘与该第一基准直线之间的最大距离；

该第二最大偏移长度为邻近该第二长边的该些周缘与该第二基准直线之间的最大距离。

6.如权利要求1所述的金属遮罩的检测方法，其中各该图案区的形状为多边形，其中各该图案区具有多个顶点；

该第一基准直线的两端点分别位于邻近该第一角落与该第二角落的两该顶点，而该第二基准直线的两端点分别位于邻近该第三角落与该第四角落的两该顶点。

7.如权利要求6所述的金属遮罩的检测方法，其中各该图案区的形状为四边形或六边形。

8.如权利要求1所述的金属遮罩的检测方法，其中

该第一基准直线的两端点与该第二基准直线的两端点皆位于该些图案区外，并且分别邻近该第一角落、该第二角落、该第三角落与该第四角落。

9.如权利要求1所述的金属遮罩的检测方法，其中各该图案区具有多个开口；

该第一基准直线的两端点分别位于邻近该第一角落与该第二角落的两该开口，而该第二基准直线的两端点分别位于邻近该第三角落与该第四角落的两该开口。

10.如权利要求1所述的金属遮罩的检测方法，其中各该图案区的形状为圆形，其中各该图案区具有一圆心；

该第一基准直线的两端点分别位于邻近该第一角落与该第二角落的两该圆心，而该第二基准直线的两端点分别位于邻近该第三角落与该第四角落的两该圆心，其中该第一最大偏移长度为邻近该第一长边的该些圆心与该第一基准直线之间的最大距离，而该第二最大偏移长度为邻近该第二长边的该些圆心与该第二基准直线之间的最大距离。