[发明专利]金属遮罩及其检测方法

说明书

一种金属遮罩及其检测方法。在此检测方法中，首先，提供金属遮罩，其具有第一长边、第二长边、第一短边、第二短边与多个图案区。接着，根据邻近第一长边与第二长边的这些图案区，定义第一基准直线与第二基准直线，其中第一基准直线邻近第一长边，而第二基准直线邻近第二长边。接着，量测邻近第一长边的这些图案区与第一基准直线之间的第一最大偏移长度。量测邻近第二长边的这些图案区与第二基准直线之间的第二最大偏移长度。当第一最大偏移长度与第二最大偏移长度之间的相差值小于或等于20微米时，判断金属遮罩为符合检测标准。

技术领域

本发明是有关于一种用于图案化制程工具及其检测方法，且特别是有关于一种金属遮罩及其检测方法。

背景技术

现今有些显示面板，例如有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示面板，采用精细金属遮罩(Fine Metal Mask，FMM)为制程工具之一。具体而言，有机发光二极管显示面板是采用蒸镀(evaporation)制造。在蒸镀过程中，使用精细金属遮罩放置在玻璃板上，而蒸镀过程中产生的镀料能依照精细金属遮罩的多个开口沉积在玻璃板上，以形成有机发光二极管显示面板内的膜层，例如发光层。

目前显示面板(包括有机发光二极管显示面板)已朝向高分辨率趋势发展。为了制造高分辨率的显示面板，金属遮罩需要具有相当薄的厚度，而且金属遮罩的这些开口在位置与形状上的误差不能过大，否则会制造出不良的显示面板，造成良率下降。

发明内容

本发明至少一实施例提出一种金属遮罩的检测方法，其能帮助筛选金属遮罩，确保使用符合检测标准的金属遮罩，以达到提升良率的目的。

本发明至少一实施例还提出一种金属遮罩，其可用上述检测方法而筛选得到。

本发明至少一实施例所提出的金属遮罩的检测方法包括提供金属遮罩，其中金属遮罩具有彼此相对的第一长边与第二长边、彼此相对的第一短边与第二短边以及多个图案区，其中第一长边、第二长边、第一短边与第二短边围绕这些图案区，而这些图案区呈规则排列。根据邻近第一长边与第二长边的这些图案区，定义第一基准直线与第二基准直线，其中第一基准直线邻近第一长边，并沿着第一长边延伸。第二基准直线邻近第二长边，并沿着第二长边延伸。接着，量测邻近第一长边的这些图案区与第一基准直线之间的第一最大偏移长度，其中第一最大偏移长度与第一基准直线垂直。量测邻近第二长边的这些图案区与第二基准直线之间的第二最大偏移长度，其中第二最大偏移长度与第二基准直线垂直。当第一最大偏移长度与第二最大偏移长度之间的相差值小于或等于20微米时，判断金属遮罩符合检测标准，即符合制程使用之合格金属遮罩。在本发明至少一实施例中，上述检测方法还包括当第一最大偏移长度小于或等于30微米时，判断金属遮罩为符合检测标准之遮罩，即符合制程所需的合格金属遮罩。反之，当第一最大偏移长度大于30微米时，判断金属遮罩为不合格遮罩。

在本发明至少一实施例中，上述检测方法还包括当第二最大偏移长度小于或等于30微米时，判断金属遮罩为符合检测标准之遮罩，即符合制程所需的合格金属遮罩。反之，当第二最大偏移长度大于30微米时，判断金属遮罩为不合格遮罩。在本发明至少一实施例中，上述检测方法还包括根据邻近第一短边的这些图案区，定义第三基准直线，其中第三基准直线邻近第一短边，并沿着第一短边延伸。接着，量测邻近第一短边的这些图案区与第三基准直线之间的第三最大偏移长度，其中第三最大偏移长度与第三基准直线垂直。当第三最大偏移长度小于或等于10微米时，判断金属遮罩为符合检测标准之遮罩，即符合制程所需的合格金属遮罩。反之，当第三最大偏移长度大于10微米时，判断金属遮罩为不合格遮罩。

本发明至少一实施例所提出的金属遮罩的检测方法包括在翘曲的金属遮罩上定义彼此平行且分离的第一基准直线与第二基准直线，其中第一基准直线的长度为L1，第二基准直线的长度为L2。接着，摊平金属遮罩，以使第一基准直线变成第一形变线，第二基准直线变成第二形变线，其中第一形变线的长度为L3，第二形变线的长度为L4。接着，判断第一基准直线的长度L1、第二基准直线的长度L2、第一形变线的长度L3与第二形变线的长度L4是否满足以下数学式：