[发明专利]MEMS器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202110945051.1 | 申请日： | 2021-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN113660592A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 周延青;潘华兵;郑泉智;胡铁刚 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 刘畅 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS器件及其制备方法，包括制备于同一衬底上的至少两个MEMS单元组，每个所述MEMS单元组包括若干MEMS单元，每两个所述MEMS单元组为同一级，同一级的两个MEMS单元组中的MEMS单元的背板和振膜相对位置不同，且一个MEMS单元组中的至少一个MEMS单元与另一个MEMS单元组中的至少一个MEMS单元电性连接。本发明中同一级的两个MEMS单元组可实现横向差分，相较于纵向差分来说，横向差分结构更容易制备，两个MEMS单元组的电容也更容易匹配；并且，不同级的MEMS单元组输出的MEMS信号后续可以实现信号级联，可用于制作多级级联结构的MEMS系统，从而提升灵敏度和信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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