[发明专利]MEMS器件及其制备方法

权利要求书

1.一种MEMS器件，其特征在于，包括制备于同一衬底上的至少两个MEMS单元组，每个所述MEMS单元组包括若干MEMS单元，每两个所述MEMS单元组为同一级，同一级的两个MEMS单元组中的MEMS单元的背板和振膜相对位置不同，且一个MEMS单元组中的至少一个MEMS单元与另一个MEMS单元组中的至少一个MEMS单元电性连接。

2.如权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，同一级的两个MEMS单元组分别为第一MEMS单元组及第二MEMS单元组，所述第一MEMS单元组和所述第二MEMS单元组中均包括一个MEMS单元，所述第一MEMS单元组中的MEMS单元与所述第二MEMS单元组中的MEMS单元电性连接之后形成MEMS差分对。

3.如权利要求2所述的MEMS器件，其特征在于，所述第一MEMS单元组中的MEMS单元通过焊盘引出第一MEMS信号，所述第二MEMS单元组中的MEMS单元通过焊盘引出第二MEMS信号，所述第一MEMS单元组中的MEMS单元与所述第二MEMS单元组中的MEMS单元之间通过焊盘连接，所述第一MEMS信号与所述第二MEMS信号形成MEMS差分信号。

4.如权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，同一级的两个MEMS单元组分别为第一MEMS单元组及第二MEMS单元组，所述第一MEMS单元组和所述第二MEMS单元组中均包括两个并联MEMS单元，所述第一MEMS单元组中的其中一个MEMS单元与所述第二MEMS单元组中的其中一个MEMS单元电性连接并形成MEMS差分对。

5.如权利要求4所述的MEMS器件，其特征在于，所述第一MEMS单元组中的其中一个MEMS单元通过焊盘引出第一MEMS信号，所述第二MEMS单元组中的其中一个MEMS单元通过焊盘引出第二MEMS信号，所述第一MEMS单元组中的其中一个MEMS单元与所述第二MEMS单元组中的其中一个MEMS单元之间通过焊盘连接，所述第一MEMS信号与所述第二MEMS信号形成MEMS差分信号。

6.如权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述电性连接为通过焊盘电性连接。

7.如权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述电性连接为通过打线电性连接。

8.如权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，每个所述MEMS单元组中的MEMS单元均为相同的MEMS结构。

9.如权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，不同MEMS单元组的MEMS单元之间构成MEMS差分信号的MEMS单元为同一级，同一级的MEMS单元在受激励时，同一级的MEMS单元的电容变化量为反向且输出MEMS差分信号，同一所述MEMS单元组中的MEMS单元的电容变化量为同向的。

10.如权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，任意两个所述MEMS单元组中的MEMS单元的数量相同或不同。

11.如权利要求9所述的MEMS器件，其特征在于，同一级的两个MEMS单元组对应一个焊盘组，每个所述焊盘组中包括至少三个焊盘，同一级的两个MEMS单元组通过对应的所述焊盘组共同输出MEMS信号。

12.如权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，每个所述MEMS单元组中的所有所述MEMS单元的振动膜彼此电性连接，每个所述MEMS单元组中的所有所述MEMS单元的背板电极彼此电性连接，以使每个所述MEMS单元组中的至少两个所述MEMS单元并联。

13.如权利要求9所述的MEMS器件，其特征在于，同一级的两个MEMS单元组中的所有所述MEMS单元的振动膜彼此电性连接。