[发明专利]一种图形化蓝宝石复合衬底结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202110873356.6 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113725325A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 李其凡;史晓华 | 申请（专利权）人： | 苏州光舵微纳科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/20 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 杨敏 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市常熟经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及了一种图形化蓝宝石复合衬底结构及其制备方法，制备方法包括：步骤A：采用沉积工艺，在蓝宝石基底表面进行镀膜、形成复合膜层；其中，复合膜层包括氧化硅膜层、氮化硅膜层以及氮氧化硅膜层中的至少两种；蓝宝石基底与复合膜层构成镀膜基片；步骤B：在镀膜基片的表面涂布压印胶；步骤C：采用纳米压印工艺、通过蓝宝石衬底模板对压印胶进行压印，将其衬底图形结构转移至镀膜基片上、形成压印掩膜结构；步骤D：对带有压印掩膜结构的镀膜基片进行刻蚀、加工形成图形化蓝宝石复合衬底结构。通过上述设置，可解决目前图形化蓝宝石衬底结构材料和图形结构单一导致LED器件出光效率、光提取效率无法进一步提升的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图形 蓝宝石 复合 衬底 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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