[发明专利]偏振光探测器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110779857.8 申请日: 2021-07-09
公开(公告)号: CN113488552A 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 于雅俐;魏钟鸣;杨珏晗;刘岳阳;宗易昕;文宏玉 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L31/0352 分类号: H01L31/0352;B82Y40/00;H01L31/032;H01L31/09;H01L31/18
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴梦圆
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种偏振光探测器及其制备方法,其中,该偏振光探测器包括:衬底;源电极和漏电极,设置于衬底上;一维硒硫化锑(Sb2(SxSe1‑x)3)合金纳米线,作为偏振光探测器的有源层,设置于衬底上的源电极和漏电极之间,其中,硒硫化锑(Sb2(SxSe1‑x)3)合金纳米线中组分比例可调节,x介于0~1之间。
搜索关键词: 偏振光 探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
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