[发明专利]芯片封装结构及其制作方法和模组在审
申请号: | 202110732782.8 | 申请日: | 2021-06-30 |
公开(公告)号: | CN113488493A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 王明煜;席克瑞;彭旭辉;秦锋;张劼 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 李晓霞 |
地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种芯片封装结构及其制作方法和模组。芯片封装结构包括:基板、再布线层、芯片和第二导电凸点。基板包括第一区和围绕第一区的第二区;再布线层位于基板的一侧,再布线层包括金属线,金属线的至少部分走线与基板相接触,在垂直于基板的方向上金属线与第二区交叠;芯片位于再布线层的远离基板的一侧,且芯片与第一区对应;在芯片的靠近基板一侧具有第一导电凸点;第一导电凸点与金属线电连接;第二导电凸点与金属线电连接,在垂直于基板的方向上,第二导电凸点与芯片不交叠。本发明提供的芯片封装结构在厚度上更加轻薄,在尺寸上也能制作的更加小巧,有利于高密度集成的应用。 | ||
搜索关键词: | 芯片 封装 结构 及其 制作方法 模组 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的