[发明专利]移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法有效
| 申请号： | 202110729623.2 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113433802B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/22;G01B11/00;G01B11/27;G01D5/38;G03F9/00;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 董骁毅;叶明川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的移动基板(P)的移动体装置，具备：保持基板(P)可往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、通过设在基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设在Y粗动载台(24)的标尺(72)取得基板保持具(32)的位置信息的第1测量系统、通过设在Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)取得Y粗动载台(24)的位置信息的第2测量系统、根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 装置 方法 曝光 平板 显示器 制造 以及 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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