[发明专利]显示面板的制作方法及光罩有效
申请号: | 202110721465.6 | 申请日: | 2021-06-28 |
公开(公告)号: | CN113488517B | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 刘念;卢马才 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 何志军 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请实施例提供一种显示面板的制作方法及光罩,显示面板的制作方法包括:提供一基板,在基板上沉积钝化层,并在钝化层远离基板的一侧涂布光阻层;利用第一光罩对光阻层进行曝光处理,以形成光阻图案并使光阻图案朝向第一光罩的一面上形成凹凸结构;在钝化层远离基板的一侧沉积导电层,以使覆盖光阻图案的导电层具有孔洞;用剥离液去除光阻图案,以形成像素电极图案。导电层受光阻表面凹凸结构的影响,在光阻图案的表面凸起的位置,导电层会被刺破;在光阻图案的表面凹陷的位置,导电层在成膜延伸时会断裂开来。因此,导电层会形成诸多孔洞,这提高了剥离液的渗透率,提高了剥离液与光阻图案的接触面积,从而提高了光阻的剥离效率。 | ||
搜索关键词: | 显示 面板 制作方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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