[发明专利]显示面板的制作方法及光罩有效

专利信息
申请号: 202110721465.6 申请日: 2021-06-28
公开(公告)号: CN113488517B 公开(公告)日: 2022-09-27
发明(设计)人: 刘念;卢马才 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 何志军
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本申请实施例提供一种显示面板的制作方法及光罩,显示面板的制作方法包括:提供一基板,在基板上沉积钝化层,并在钝化层远离基板的一侧涂布光阻层;利用第一光罩对光阻层进行曝光处理,以形成光阻图案并使光阻图案朝向第一光罩的一面上形成凹凸结构;在钝化层远离基板的一侧沉积导电层,以使覆盖光阻图案的导电层具有孔洞;用剥离液去除光阻图案,以形成像素电极图案。导电层受光阻表面凹凸结构的影响,在光阻图案的表面凸起的位置,导电层会被刺破;在光阻图案的表面凹陷的位置,导电层在成膜延伸时会断裂开来。因此,导电层会形成诸多孔洞,这提高了剥离液的渗透率,提高了剥离液与光阻图案的接触面积,从而提高了光阻的剥离效率。
搜索关键词: 显示 面板 制作方法
【主权项】:
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