[发明专利]显示面板的制作方法及光罩

权利要求书

1.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供一基板，在所述基板上沉积钝化层，并在所述钝化层远离所述基板的一侧涂布光阻层；

利用第一光罩对所述光阻层进行曝光处理，以形成光阻图案并使所述光阻图案朝向所述第一光罩的一面上形成凹凸结构；

对所述光阻图案进行光阻制绒处理，以使所述光阻图案表面形成绒面；

在所述钝化层远离所述基板的一侧沉积导电层，以使所述光阻图案凸起的位置所述导电层被刺破以及所述光阻图案凹陷的位置所述导电层断开，以使覆盖所述光阻图案的所述导电层具有孔洞；

用剥离液去除所述光阻图案，以形成像素电极图案。

2.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述第一光罩包括多个透光部和多个遮光部，所述遮光部上开设有多个间隔设置的透光孔。

3.根据权利要求2所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述透光孔的孔径范围为0.3微米~0.8微米。

4.根据权利要求3所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述遮光部中间的透光孔的尺寸大于所述遮光部边缘的透光孔的尺寸。

5.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，在所述基板上形成钝化层之前包括：

在所述基板上形成第一金属层，采用第二光罩对所述第一金属层进行图案化处理以形成栅极；

在所述基板设置有所述栅极的一面上依次沉积栅极绝缘层、半导体层以及第二金属层，采用第三光罩对所述第二金属层进行图案化处理以形成所述栅极对应的有源层、源极和漏极；

在所述基板上形成钝化层，所述钝化层覆盖所述源极、所述漏极以及所述有源层。

6.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，通过刻蚀以使所述光阻图案的表面形成绒面。