[发明专利]一种微电子封装用可伐/银合金复合材料及其制备方法有效
申请号: | 202110707913.7 | 申请日: | 2021-06-24 |
公开(公告)号: | CN113540001B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 元琳琳;付晓玄;史秀梅;黄晓猛;黄小凯;齐岳峰;许丽娟;王志明 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属与稀土应用研究所 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/48;C22C5/08;C22F1/14 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 刘茵 |
地址: | 100012 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种微电子封装用可伐/银合金复合材料及其制备方法,该复合材料中银合金钎料层中Cu的含量为30~35wt%,Ti的含量为0.1~5.0wt%,Ni的含量为0.1~1.0wt%,余量为Ag;可伐合金层为4J29或4J34。制备方法包括:采用真空加压烧结方法制备钎料锭坯,通过热压扩散方式获得复合锭坯,经冷锻成形、中间退火、精密轧制及成品退火,获得厚度为0.15~1.5mm的层状复合材料,其中可伐合金层厚度为0.1~1mm,银合金钎料层厚度为0.01~0.5mm。本发明的可伐/银合金复合材料与陶瓷热膨胀系数匹配性好,可实现与陶瓷件良好封装。钎焊温度适中,封装工艺简单高效,器件封接后不易发生开裂,成品率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 微电子 封装 用可伐 合金 复合材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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