[发明专利]一种芯片冷却装置及其装配方法有效
申请号: | 202110689610.7 | 申请日: | 2021-06-21 |
公开(公告)号: | CN113421868B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 陈钏;李君;王启东;曹立强 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司;上海先方半导体有限公司 |
主分类号: | H01L23/473 | 分类号: | H01L23/473;H01L23/373;H01L23/367;H01L21/48 |
代理公司: | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人: | 张东梅 |
地址: | 214028 江苏省无锡市新区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及芯片热管理技术领域,提出一种芯片冷却装置及其装配方法。所述冷却装置包括多个金属热界面材料层;进液管;出液管;以及多个热沉粒。本发明通过采用热沉粒与金属化整为零的布置方式,并且通过热沉粒与输送冷却液的管道之间的柔性连接,可以在热沉粒、金属热界面材料层以及大尺寸芯片之间形成较小的应力,有效解决了大尺寸高功耗芯片的散热问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 冷却 装置 及其 装配 方法 | ||
【主权项】:
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