[发明专利]一种用于改善堆栈式图像传感器键合缺陷的工艺方法

摘要

本发明提供一种用于改善堆栈式图像传感器键合缺陷的工艺方法，逻辑晶圆设有第一、第二逻辑区；像素晶圆设有像素区；逻辑晶圆的第二逻辑区的高度低于像素晶圆的像素区的高度；在逻辑晶圆上旋涂一层镀层填充于第二逻辑区；待镀层硬化后，在逻辑晶圆上形成一层具有第一厚度的氧化硅膜层；将第一厚度的氧化硅膜层进行化学机械研磨至第二厚度；将逻辑晶圆与像素晶圆进行键合，第二逻辑区与像素区的边缘为键合边界。本发明增加旋涂镀层工艺，后续利用化学气相沉积补镀氧化硅膜层，保证CMP平坦化之前的膜层厚度不变,使逻辑晶圆晶边区域被后续工艺修复，实现对键合工艺缺陷降低，提升产品良率。