[发明专利]机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运装置在审
| 申请号： | 202110419511.7 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113119144A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 叶晓通;黄晶;黄国辉 | 申请（专利权）人： | 深圳众为兴技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J15/08;B25J11/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谢岳鹏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区艺园*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运设备，其中，末端执行机构包括支座、手指组件、第一丝杆以及驱动组件，手指组件包括并列设置的第一手指和第二手指，第一手指与第二手指均滑动连接于支座，第一手指与第二手指均用于晶圆的承载；第一丝杆转动连接支座，第一丝杆包括第一段和第二段，第一段与第二段均设置有螺纹，两个螺纹的螺旋方向相反，其中，第一手指螺纹连接于第一段，第二手指螺纹连接于第二段；驱动组件与第一丝杆相连接，用于驱动第一丝杆转动。通过采用上述方案，即保证了晶圆的输送效率，又保证了末端执行机构适用不同层间距的放置盒。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 末端 执行机构 搬运 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳众为兴技术股份有限公司，未经深圳众为兴技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110419511.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种中药香囊及其制备方法
- 下一篇：一种镀铬板及其制备方法以及一种皇冠盖
