[发明专利]机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运装置

说明书

本发明公开了一种机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运设备，其中，末端执行机构包括支座、手指组件、第一丝杆以及驱动组件，手指组件包括并列设置的第一手指和第二手指，第一手指与第二手指均滑动连接于支座，第一手指与第二手指均用于晶圆的承载；第一丝杆转动连接支座，第一丝杆包括第一段和第二段，第一段与第二段均设置有螺纹，两个螺纹的螺旋方向相反，其中，第一手指螺纹连接于第一段，第二手指螺纹连接于第二段；驱动组件与第一丝杆相连接，用于驱动第一丝杆转动。通过采用上述方案，即保证了晶圆的输送效率，又保证了末端执行机构适用不同层间距的放置盒。

技术领域

本发明涉及晶圆的技术领域，尤其涉及一种机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运装置。

背景技术

半导体机械手是专用于半导体制造技术领域晶圆加工及检测设备各工位之间传送搬运晶圆产品的特定装置，随着半导体制造技术的升级及产能增长，对半导体机械手传送搬运晶圆产品有了更高精度和更高效率以及更柔性化的高要求。

相关技术中，机械手末端执行器多为单指或多指固定式，其中，单指晶圆搬运机械手末端的执行器在晶圆传送过程中一次只能取放一张晶圆，大大降低了晶圆的输送效率；而多指固定式晶圆搬运机械手末端的执行器的结构中，多个手指间距相同，导致执行器无法适应不同层间距的放置盒。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种机械手用末端执行机构，能够高效地输送晶圆，并适应不同层间距的放置盒。

本发明还提出一种具有上述机械手用末端执行机构的机械手。

本发明还提出一种具有上述机械手的晶圆搬运设备。

根据本发明实施例的机械手用末端执行机构，包括：

支座；

手指组件，包括并列设置的第一手指和第二手指，所述第一手指与所述第二手指均滑动连接于所述支座，所述第一手指与所述第二手指用于晶圆的承载；

第一丝杆，转动连接所述支座，所述第一丝杆包括第一段和第二段，所述第一段与所述第二段均设置有螺纹，两个所述螺纹的螺旋方向相反，其中，所述第一手指螺纹连接于所述第一段，所述第二手指螺纹连接于所述第二段；

驱动组件，与所述第一丝杆相连接，用于驱动所述第一丝杆转动。

根据本发明实施例的机械手用末端执行机构，至少具有如下有益效果：末端执行机构使用时，第一手指与第二手指均能够承载一个晶圆，因此，末端执行机构能够同时承载两个晶圆，机械手能够同时进行两个晶圆的输送，晶圆的输送效率得到提高；同时，第一段的螺纹与第二段的螺纹螺旋方向相反，第一丝杆驱动第一手指与第二手指相向运动或彼此远离运动，从而调整第一手指与第二手指之间的间距，进而使该间距刚好适配相应放置盒的两个承载盘之间的间距，末端执行机构能够适应不同层间距的放置盒。

根据本发明的一些实施例，所述手指组件还包括用于承载晶圆的中部手指，所述中部手指固定连接于所述支座、并位于所述第一手指与所述第二手指之间，其中，两个所述螺纹的导程相同，以使所述中部手指分别与所述第一手指、所述第二手指的间距相同。

根据本发明的一些实施例，所述手指组件还包括第三手指和第四手指，所述第三手指并列位于所述第一手指远离所述中部手指的一侧、并滑动连接于所述支座，所述第四手指并列位于所述第二手指远离所述中部手指的一侧、并滑动连接于所述支座；

所述末端执行机构还包括转动连接于所述支座、并与所述第一丝杆平行设置的第二丝杆，所述第三手指螺纹连接于所述第二丝杆的第一段，所述第四手指螺纹连接于所述第二丝杆的第二段，其中，所述驱动组件与所述第二丝杆相连接，用于驱动所述第二丝杆转动；其中，所述第三手指与所述第四手指分别是所述第一手指与所述第二手指的移动速度的两倍。