[发明专利]机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运装置

权利要求书

1.机械手用末端执行机构，其特征在于，包括：

支座；

手指组件，包括并列设置的第一手指和第二手指，所述第一手指与所述第二手指均滑动连接于所述支座，所述第一手指与所述第二手指用于晶圆的承载；

第一丝杆，转动连接所述支座，所述第一丝杆包括第一段和第二段，所述第一段与所述第二段均设置有螺纹，两个所述螺纹的螺旋方向相反，其中，所述第一手指螺纹连接于所述第一段，所述第二手指螺纹连接于所述第二段；

驱动组件，与所述第一丝杆相连接，用于驱动所述第一丝杆转动。

2.根据权利要求1所述的机械手用末端执行机构，其特征在于，所述手指组件还包括用于承载晶圆的中部手指，所述中部手指固定连接于所述支座、并位于所述第一手指与所述第二手指之间，其中，两个所述螺纹的导程相同，以使所述中部手指分别与所述第一手指、所述第二手指的间距相同。

3.根据权利要求2所述的机械手用末端执行机构，其特征在于，所述手指组件还包括第三手指和第四手指，所述第三手指并列位于所述第一手指远离所述中部手指的一侧、并滑动连接于所述支座，所述第四手指并列位于所述第二手指远离所述中部手指的一侧、并滑动连接于所述支座；

所述末端执行机构还包括转动连接于所述支座、并与所述第一丝杆平行设置的第二丝杆，所述第三手指螺纹连接于所述第二丝杆的第一段，所述第四手指螺纹连接于所述第二丝杆的第二段；所述驱动组件与所述第二丝杆相连接，用于驱动所述第二丝杆转动；

其中，所述第三手指与所述第四手指分别是所述第一手指与所述第二手指的移动速度的两倍。

4.根据权利要求3所述的机械手用末端执行机构，其特征在于，所述驱动组件包括两个第一驱动件，一个所述第一驱动件与所述第一丝杠相连接，用于驱动所述第一丝杆转动；另一个所述第一驱动件与所述第二丝杆相连接，用于驱动所述第二丝杆转动。

5.根据权利要求3所述的机械手用末端执行机构，其特征在于，所述驱动组件包括第二驱动件和传动组件，所述传动组件连接于所述第二驱动件、所述第一丝杆与所述第二丝杆之间，以使驱动件能够驱动所述第一丝杆与所述第二丝杆转动；

其中，当所述第一丝杆与所述第二丝杆的导程一致时，所述传动组件使所述第二丝杆的转速是所述第一丝杆的转速的二倍；或，当所述第二丝杆的导程是所述第一丝杆导程的两倍时，所述传动组件使所述第二丝杆的转速是所述第一丝杆的转速一致。

6.根据权利要求5所述的机械手用末端执行机构，其特征在于，所述传动组件包括第一传动轮、第二传动轮、第三传动轮与传动带，第一传动轮固定连接于所述第二驱动件的驱动轴，所述第二传动轮固定连接第一丝杆，所述第三传动轮固定连接于所述第二丝杆，所述第二传动轮的直径是所述第三传动轮的直径的二倍；所述传动带绕设于所述第一传动轮、所述第二传动轮以及所述第三传动轮；

或，

所述传动组件为齿轮组件，所述齿轮组件由若干个相互啮合的齿轮组成，其中，所述齿轮组件至少包括第一齿轮、第二齿轮以及第三齿轮，所述第一齿轮固定连接于所述第二驱动件的驱动轴，所述第二齿轮固定连接所述第一丝杆，所述第三齿轮固定连接于所述第二丝杆，所述第二齿轮的直径是所述第三齿轮的直径的二倍。

7.根据权利要求3所述的机械手用末端执行机构，其特征在于，所述手指组件还包括第一滑动座、第二滑动座、第三滑动座、第四滑动座与固定座，所述第一滑动座与所述第二滑动座均滑动连接于所述支座、并与所述第一丝杆螺纹连接，所述第一手指可拆卸连接于所述第一滑动座，所述第二手指可拆卸连接于所述第二滑动座；所述第三滑动座与所述第四滑动座均滑动连接于所述支座、并与所述第二丝杆螺纹连接，所述第三手指可拆卸连接于所述第三滑动座，所述第四手指可拆卸连接于所述第四滑动座，所述固定座固定连接于所述支座，所述中部手指可拆卸连接所述固定座。