[发明专利]高频天线及等离子处理装置在审
| 申请号： | 202110367273.X | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN113539774A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 江部明宪;津田统;森内英辉 | 申请（专利权）人： | EMD株式会社;株式会社巴川制纸所 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01Q1/22;H01Q1/36 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种即便在用以生成等离子的高频中，亦能有效率地流通大电流的高频天线及使用该高频天线的等离子处理装置。本发明的高频天线(11)由金属纤维片所构成。本发明的等离子处理装置具备：真空容器(21)，在壁部(211)具有开口部(213)；高频天线(11)，配置在开口部(213)，由金属纤维片所构成；以及电介质制的保护板(12)，以将开口部(213)气密地封闭的方式，设在与高频天线(11)相比更靠真空容器(21)的内部侧。由金属纤维片所构成的高频天线(11)，由于表面积较由同形状的金属板所构成的高频天线大，因此，相对高频电流的阻抗低。因此，可更有效率地使为了生成等离子而通常使用(例如，频率13.56MHz)的高频电流，以大电流形式流通。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 天线 等离子 处理 装置 | ||
【主权项】：
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