[发明专利]高频天线及等离子处理装置

说明书

本发明提供一种即便在用以生成等离子的高频中，亦能有效率地流通大电流的高频天线及使用该高频天线的等离子处理装置。本发明的高频天线(11)由金属纤维片所构成。本发明的等离子处理装置具备：真空容器(21)，在壁部(211)具有开口部(213)；高频天线(11)，配置在开口部(213)，由金属纤维片所构成；以及电介质制的保护板(12)，以将开口部(213)气密地封闭的方式，设在与高频天线(11)相比更靠真空容器(21)的内部侧。由金属纤维片所构成的高频天线(11)，由于表面积较由同形状的金属板所构成的高频天线大，因此，相对高频电流的阻抗低。因此，可更有效率地使为了生成等离子而通常使用(例如，频率13.56MHz)的高频电流，以大电流形式流通。

技术领域

本发明关于一种高频天线、以及使用该高频天线的等离子处理装置。

背景技术

在感应耦合型等离子处理装置中，为了提高在装置内生成的等离子的密度，需要通过对高频天线流通大电流来提高电磁场的强度。

作为能流通大电流的高频天线的例子，在专利文献1中记载有由长方形的金属板所构成的面状高频天线。在这样的面状高频天线中，通过在长方形的对向的两边之间流通电流，与将线状的高频天线布线在相同的面内的情形相比阻抗变小，可流通更大的电流。

在专利文献1中，面状高频天线设在真空容器的开口，也作为堵塞开口的盖而使用。在面状高频天线的真空容器的内部侧设置电介质制的保护板，通过该保护板来保护面状高频天线免于在真空容器的内部生成的等离子的影响。

现有技术文献

专利文献

[专利文献1]：国际公开WO2009/142016号

发明内容

发明要解决的问题

在导体中，使在流通电流的方向上的截面积越大，则越能流通大电流。然而，在高频电流的情形，因趋肤效应而电流所流通的仅为表面附近，通过增大截面积而带来电流增大效果很有限。

本发明所欲解决的课题，是提供一种即便在用以生成等离子的高频中，亦能有效率地流通大电流的高频天线、以及使用该高频天线的等离子处理装置。

解决问题的手段

为解决上述课题而成的本发明的高频天线，其由金属纤维片所构成。

本发明的等离子处理装置，其具备：

a)真空容器，在壁部具有开口部；

b)高频天线，配置在前述开口部，由金属纤维片所构成；以及

c)电介质制的保护板，以将前述开口部气密地封闭的方式，设在与前述高频天线相比更靠前述真空容器的内部侧。

在本发明中，使用金属纤维片作为高频天线。金属纤维片是由金属纤维所构成的片状物。作为这样的金属纤维片，可适用金属纤维随机配置的不织布。优选为金属纤维彼此至少一部分粘合。又，优选为金属纤维片具有多孔质构造。

由金属纤维片所构成的高频天线，由于表面积较由和该金属纤维片同形状的金属板所构成的高频天线大，因此，相对高频电流的阻抗低。因此，可更有效率地使为了生成等离子而通常使用(例如，频率13.56MHz)的高频电流，以大电流形式流通。