[发明专利]高频天线及等离子处理装置

权利要求书

1.一种高频天线，其特征在于由金属纤维片所构成。

2.如权利要求1所述的高频天线，其中，

前述金属纤维片为金属纤维彼此的至少一部分粘合者。

3.如权利要求1或2所述的高频天线，其中，

温度为25℃时的前述金属纤维片的占空率为5～60％。

4.一种等离子处理装置，其特征在于具备：

a)真空容器，在壁部具有开口部；

b)高频天线，配置在前述开口部，由金属纤维片所构成；以及

c)电介质制的保护板，以将前述开口部气密地封闭的方式，设在与前述高频天线相比更靠前述真空容器的内部侧。

5.如权利要求4所述的等离子处理装置，其进而在前述高频天线的与前述内部侧为相反之侧具备由绝缘体制的板构成的强度补强板，前述保护板与该高频天线、以及该高频天线与该强度补强板密合。

6.如权利要求5所述的等离子处理装置，其中，

前述保护板较前述强度补强板薄。

7.如权利要求4至6中任一项所述的等离子处理装置，其进而具备：

电流测量部，测量被导入至前述高频天线的高频电流的电流值。

8.如权利要求7所述的等离子处理装置，其进而具备：

电流停止控制部，在由前述电流测量部测量的电流值超过既定值时，使被导入至前述高频天线的高频电流停止。

9.如权利要求4至6中任一项所述的等离子处理装置，其中，

前述金属纤维片为金属纤维彼此的至少一部分粘合者。

10.如权利要求4至6中任一项所述的等离子处理装置，其中，

温度为25℃时的前述金属纤维片的占空率为5～60％。