[发明专利]光栅结构件及其制作方法、光栅结构模板和相关设备有效
| 申请号: | 202110270331.7 | 申请日: | 2021-03-12 |
| 公开(公告)号: | CN115079321B | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
| 发明(设计)人: | 邓焯泳 | 申请(专利权)人: | 华为技术有限公司 |
| 主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;G02B6/124 |
| 代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 熊永强;李稷芳 |
| 地址: | 518129 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本申请实施例提供一种光栅结构件、光栅结构模板、包括光栅结构件的衍射光波导、包括衍射光波导的电子设备,及光栅结构件的制作方法。所述制作方法包括:在基板上形成第一凸起;通过机械刻划工艺在所述第一凸起背向所述基板的表面刻划出多条第一栅线,形成第一光栅;在所述基板设有所述第一凸起的表面上形成第二凸起;通过机械刻划工艺在所述第二凸起背向所述基板的表面刻划出多条第二栅线,形成第二光栅;其中,所述第二栅线的延长线在所述基板上的投影与所述第一光栅在所述基板上的投影部分重合,形成第二栅线的凹槽的底壁至基板的距离大于或等于第一凸起的厚度。本申请的制作方法能够获得具有良好传光效果的光栅结构件。 | ||
| 搜索关键词: | 光栅 结构件 及其 制作方法 结构 模板 相关 设备 | ||
【主权项】:
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