[发明专利]光栅结构件及其制作方法、光栅结构模板和相关设备有效

专利信息
申请号: 202110270331.7 申请日: 2021-03-12
公开(公告)号: CN115079321B 公开(公告)日: 2023-03-10
发明(设计)人: 邓焯泳 申请(专利权)人: 华为技术有限公司
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18;G02B6/124
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 熊永强;李稷芳
地址: 518129 广东*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本申请实施例提供一种光栅结构件、光栅结构模板、包括光栅结构件的衍射光波导、包括衍射光波导的电子设备,及光栅结构件的制作方法。所述制作方法包括:在基板上形成第一凸起;通过机械刻划工艺在所述第一凸起背向所述基板的表面刻划出多条第一栅线,形成第一光栅;在所述基板设有所述第一凸起的表面上形成第二凸起;通过机械刻划工艺在所述第二凸起背向所述基板的表面刻划出多条第二栅线,形成第二光栅;其中,所述第二栅线的延长线在所述基板上的投影与所述第一光栅在所述基板上的投影部分重合,形成第二栅线的凹槽的底壁至基板的距离大于或等于第一凸起的厚度。本申请的制作方法能够获得具有良好传光效果的光栅结构件。
搜索关键词: 光栅 结构件 及其 制作方法 结构 模板 相关 设备
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华为技术有限公司,未经华为技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110270331.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top