[发明专利]体光栅标定组件、体光栅的制备装置、标定方法和曝光方法在审
| 申请号： | 202110224477.8 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113009609A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 袁孝;葛子轶;张翔;熊宝星;高帆 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 吴竹慧 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体光栅标定组件、体光栅的制备装置、标定方法和曝光方法，标定装置包括第一激光器和第一反射镜，所述第一激光器位于曝光平台上样品的正侧，所述第一反射镜位于曝光平台上样品的另一侧；所述第一激光器发出标定光束以照射在曝光平台的曝光区上，从所述曝光平台上透射的光经第一反射镜反射，获得反射光束，调整所述第一反射镜的角度以使得反射光束在第一激光器的输出端形成牛顿环。其使用标定的方法可精确控制体光栅栅线的角度，稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 标定 组件 制备 装置 方法 曝光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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