[发明专利]体光栅标定组件、体光栅的制备装置、标定方法和曝光方法

说明书

本发明涉及一种体光栅标定组件、体光栅的制备装置、标定方法和曝光方法，标定装置包括第一激光器和第一反射镜，所述第一激光器位于曝光平台上样品的正侧，所述第一反射镜位于曝光平台上样品的另一侧；所述第一激光器发出标定光束以照射在曝光平台的曝光区上，从所述曝光平台上透射的光经第一反射镜反射，获得反射光束，调整所述第一反射镜的角度以使得反射光束在第一激光器的输出端形成牛顿环。其使用标定的方法可精确控制体光栅栅线的角度，稳定性好。

技术领域

本发明涉及光栅技术领域，尤其是指一种体光栅标定组件、体光栅的制备装置、标定方法和曝光方法。

背景技术

基于光热敏折变(Photo-Thermo-reflection,PTR)玻璃制备的体Bragg光栅(Volume Bragg gatings)兼备角度选择性和光谱选择性，具有衍射效率高，热稳定性好，适用光谱宽与抗强激光损伤能力，被广泛应用于强激光领域。国内研究人员关于体Bragg光栅也公开申请了一系列专利，比如中国科学院上海光学精密机械研究所的晋云霞提出了一种基于光热折变玻璃的反射式体光栅制备方法(中国专利CN201911167157)，林安英、陈臻懿等人提出了一种制作多波长体布拉格光栅的方法(中国专利CN201410405773)，浙江大学的刘崇等人提出了一种反射式体全息布拉格光栅紫外曝光的方法(中国专利CN201210360192)。

透射式体Bragg光栅以其优秀的角度选择性被广泛应用于空间滤波，其特点在于不需要将入射光束聚焦，就能直接选择出所需要的的空间角谱成分，成功克服现阶段所广泛使用的针孔滤波方式在焦平面处光强过高，易击穿针孔周边材料等不利因素，在高功率激光系统中被用于代替体积庞大的针孔空间滤波器。实现这一目的需要精确控制体Bragg光栅的各项参数，包括光栅厚度，栅线周期，光栅矢量以及光栅倾斜角。制备体Bragg光栅一般采用全息的方法，两束紫外干涉光的夹角以及记录载体表面法线与入射光和参考光的夹角会改变所需要的的光栅周期和倾斜角。同时，在很多系统中，一般要求不改变输出光束方向，做到即插即用，而写入时的误差导致的光栅倾斜角变化将导致体Bragg光栅衍射效率和角度选择性的的改变，影响体Bragg光栅器件的性能。针对这一问题，本发明提出了一种利用红光标定精确控制体Bragg光栅栅线角度的方法。

发明内容

为此，本发明所要解决的技术问题是提供一种体光栅标定组件、体光栅的制备装置、标定方法和曝光方法，其便于光栅的标定，精确度高，稳定性好。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种体光栅标定组件，所述标定装置包括第一激光器和第一反射镜，所述第一激光器位于曝光平台上样品的正侧，所述第一反射镜位于曝光平台上样品的另一侧；

所述第一激光器发出标定光束以照射在曝光平台的曝光区上，从所述曝光平台上透射的光经第一反射镜反射，获得反射光束，调整所述第一反射镜的角度以使得反射光束在第一激光器的输出端形成牛顿环。

本发明公开了一种体光栅的制备装置，包括上述的体光栅标定组件。

作为优选的，还包括第二激光器、分束器、第二反射镜和第三反射镜，所述第二激光器发射曝光光束，所述曝光光束经所述分束器分解为两束分光束；两束所述分光束分别经第二反射镜和第三反射镜反射以在曝光平台的曝光区干涉。

作为优选的，所述第二激光器为紫光激光器。

作为优选的，还包括小孔光阑，所述分光束经所述小孔光阑准直和定轴后照射在曝光平台的曝光区。

作为优选的，还包括准直扩束组件，所述准直扩束组件位于第二激光器的输出端。

本发明公开了一种体光栅的标定方法，包括以下步骤：

S1、在曝光平台上样品的正侧设置有第一激光器，在所述曝光平台上样品的另一侧设置有第一反射镜；