[发明专利]体光栅标定组件、体光栅的制备装置、标定方法和曝光方法

权利要求书

1.一种体光栅标定组件，其特征在于，所述标定装置包括第一激光器和第一反射镜，所述第一激光器位于曝光平台上样品的正侧，所述第一反射镜位于曝光平台上样品的另一侧；

所述第一激光器发出标定光束以照射在曝光平台的曝光区上，从所述曝光平台上透射的光经第一反射镜反射，获得反射光束，调整所述第一反射镜的角度以使得反射光束在第一激光器的输出端形成牛顿环。

2.一种体光栅的制备装置，其特征在于，包括权利要求1所述的体光栅标定组件。

3.根据权利要求2所述的体光栅的制备装置，其特征在于，还包括第二激光器、分束器、第二反射镜和第三反射镜，所述第二激光器发射曝光光束，所述曝光光束经所述分束器分解为两束分光束；两束所述分光束分别经第二反射镜和第三反射镜反射以在曝光平台的曝光区干涉。

4.根据权利要求3所述的体光栅的制备装置，其特征在于，所述第二激光器为紫光激光器。

5.根据权利要求3所述的体光栅的制备装置，其特征在于，还包括小孔光阑，所述分光束经所述小孔光阑准直和定轴后照射在曝光平台的曝光区。

6.根据权利要求3所述的体光栅的制备装置，其特征在于，还包括准直扩束组件，所述准直扩束组件位于第二激光器的输出端。

7.一种体光栅的标定方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、在曝光平台上样品的正侧设置有第一激光器，在所述曝光平台上样品的另一侧设置有第一反射镜；

S2、所述第一激光器朝向曝光平台的曝光区发射标定光束，所述标定光束经所述曝光平台上的曝光区并由第一反射镜反射，获得反射光束，调整所述第一反射镜的角度以使得反射光束在第一激光器的输出端形成牛顿环。

8.一种体光栅的曝光方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、在所述曝光平台上样品的正侧设置有第一激光器，在所述曝光平台上样品的另一侧设置有第一反射镜；

S2、所述第一激光器朝向曝光平台的曝光区发射标定光束，所述标定光束经所述曝光平台上的曝光区并由第一反射镜反射，获得反射光束，调整所述第一反射镜的角度以使得反射光束在第一激光器的输出端形成牛顿环；

S3、在曝光平台上放置样品，调整曝光平台的角度以使得第一反射镜的反射光束在第一激光器的输出端形成牛顿环；

S4、关闭第一激光器，使用干涉光对所述曝光平台上的样品曝光。

9.根据权利要求8所述的体光栅的曝光方法，其特征在于，所述S4中，在样品曝光过程中，通过旋转曝光平台以实现多角度光栅刻写。

10.根据权利要求8所述的体光栅的曝光方法，其特征在于，所述曝光方法应用在体布拉格光栅的制备上。