[发明专利]一种冷却液添加装置、冷却器及半导体设备在审
| 申请号： | 202110209886.0 | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN112984877A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 颜志军;沈吉;荆泉;陈力钧 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F25B45/00 | 分类号： | F25B45/00;F25B49/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种冷却液添加装置、冷却器及半导体设备，所述冷却液添加装置包括储液箱、控制器和加液管，所述加液管的进液与所述储液箱相连，所述加液管的出液口用于与所述冷却器的加液口相连；所述储液箱用于存储冷却液；所述控制器用于在所述冷却器内的液位低于预设阈值时，控制所述加液管将所述储液箱内的冷却液添加至所述冷却器中。本发明提供的冷却液添加装置能够使得冷却器在不停机的情况下完成自动加液，既能够保证所述冷却器的温度控制，避免冷却器发生宕机风险，又能够对所有同型号的冷却器的加液过程进行系统化监测，并对加液过程中的加液信息进行分析，从而达到预测和排查设备漏液故障的目的，同时还能够有效降低环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却液 添加 装置 冷却器 半导体设备 | ||
【主权项】：
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