[发明专利]一种冷却液添加装置、冷却器及半导体设备在审
申请号: | 202110209886.0 | 申请日: | 2021-02-24 |
公开(公告)号: | CN112984877A | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 颜志军;沈吉;荆泉;陈力钧 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | F25B45/00 | 分类号: | F25B45/00;F25B49/00;H01L21/67 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 曹廷廷 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 冷却液 添加 装置 冷却器 半导体设备 | ||
1.一种冷却液添加装置,应用于冷却器,其特征在于,包括储液箱、控制器和加液管,所述加液管的进液口与所述储液箱相连,所述加液管的出液口用于与所述冷却器的加液口相连;
所述储液箱用于存储冷却液;
所述控制器用于在所述冷却器内的液位低于预设阈值时,控制所述加液管将所述储液箱内的冷却液添加至所述冷却器中。
2.根据权利要求1所述的冷却液添加装置,其特征在于,所述控制器根据预先存储的加液频率和加液量,控制所述加液管将所述储液箱内的冷却液添加至所述冷却器中。
3.根据权利要求1所述的冷却液添加装置,其特征在于,所述冷却液添加装置还包括设于所述加液管上的阀门,所述阀门与所述控制器相连,所述控制器用于控制所述阀门的打开与关闭,当所述阀门处于打开状态时,通过所述加液管能够将所述储液箱内的冷却液添加至所述冷却器中。
4.根据权利要求3所述的冷却液添加装置,其特征在于,所述控制器用于控制所述阀门的开启角度以控制所述加液管将所述储液箱内的冷却液添加至所述冷却器中的加液速率。
5.根据权利要求1所述的冷却液添加装置,其特征在于,所述控制器与一服务器通信连接,所述控制器用于将获取的加液信息发送至所述服务器。
6.根据权利要求5所述的冷却液添加装置,其特征在于,所述加液信息包括加液频率、加液时长、加液速率和加液量中的至少一个。
7.根据权利要求6所述的冷却液添加装置,其特征在于,所述服务器用于获取所有同型号的冷却器的加液信息,并根据所获取的加液信息,判断所述冷却器是否出现漏液故障。
8.一种冷却器,应用于半导体设备,其特征在于,包括如权利要求1~7中任一项所述的冷却液添加装置。
9.根据权利要求8所述的冷却器,其特征在于,所述冷却液添加装置安装于所述冷却器的顶部。
10.一种半导体设备,其特征在于,包括如权利要求8或9所述的冷却器。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司,未经上海华力微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110209886.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。