[发明专利]掩膜板的制作方法及掩膜板在审
| 申请号： | 202110201844.2 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN113005399A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 潘晟恺;李如;熊腾青;乔永康;杨凯 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种掩膜板的制作方法及掩膜板，属于显示技术领域。该掩膜板制作方法包括提供掩模基板，所述掩膜基板包括中间部和位于所述中间部两端的边缘部，所述中间部包括第一区域和至少一个第二区域，所述第一区域围设在所述第二区域的外围；确定所述第一区域和所述第二区域的网孔分布信息；根据所述网孔分布信息，刻蚀所述掩膜基板，于所述第一区域形成第一网格区，于所述第二区域形成第二网格区；于所述第一网格区的至少一侧表面形成柔性绝缘保护膜，所述柔性绝缘保护膜覆盖所述第一网格区的至少一侧表面。该方法有助于提升掩膜板张网效率和张网平整度。此外，本公开提供的方法可避免掩膜板刮伤、击伤待蒸镀基板。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 制作方法 | ||
【主权项】：
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