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[发明专利]一种掩膜板及制作方法、显示面板及显示装置-CN202010092628.4有效
发明人：潘晟恺;熊腾青;乔永康 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2020-02-14 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G03F1/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜板及制作方法、显示面板及显示装置，其中，所述掩膜板包括：所述掩膜板包括第一完全遮挡区域，包围所述第一完全遮挡区域的部分遮挡区域，以及包围所述部分遮挡区域的第二完全遮挡区域，所述第一完全遮挡区域设置有第一遮挡结构，所述部分遮挡区域设置有部分遮挡结构，所述第二完全遮挡区域设置有第二遮挡结构，其中，所述部分遮挡结构由网格状镂空结构形成。通过该掩膜板能够实现对非规则显示屏的制作。
一种掩膜板制作方法显示面板显示装置

[发明专利]一种掩膜板-CN201910281480.6有效
发明人：杨凯;李如;熊腾青;乔永康;潘晟恺 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2019-04-09 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板，包括：掩膜层和承载层，掩膜层和承载层相互叠置，掩膜层用于成膜时形成成膜图形；承载层用于承载掩膜层；相同体积的承载层的质量小于掩膜层的质量。该掩膜板由于部分结构采用相同体积时质量小于掩膜板其他部分结构的材质，所以使得掩膜板的整体质量明显小于现有的掩膜板的质量，从而在掩膜板体积不变的情况下，降低了掩膜板的整体重量，进而降低了掩膜板的存储和传送难度，减轻了由于掩膜板过重所导致的传送效率低下以及掩膜板寿命降低的问题，提高了生产效率并提高了掩膜板的寿命。
一种掩膜板

[发明专利]掩膜板的制作方法及掩膜板-CN202110201844.2在审
发明人：潘晟恺;李如;熊腾青;乔永康;杨凯 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2021-02-23 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开提供了一种掩膜板的制作方法及掩膜板，属于显示技术领域。该掩膜板制作方法包括提供掩模基板，所述掩膜基板包括中间部和位于所述中间部两端的边缘部，所述中间部包括第一区域和至少一个第二区域，所述第一区域围设在所述第二区域的外围；确定所述第一区域和所述第二区域的网孔分布信息；根据所述网孔分布信息，刻蚀所述掩膜基板，于所述第一区域形成第一网格区，于所述第二区域形成第二网格区；于所述第一网格区的至少一侧表面形成柔性绝缘保护膜，所述柔性绝缘保护膜覆盖所述第一网格区的至少一侧表面。该方法有助于提升掩膜板张网效率和张网平整度。此外，本公开提供的方法可避免掩膜板刮伤、击伤待蒸镀基板。
掩膜板制作方法

[发明专利]一种掩膜装置及溅射系统-CN201811568371.4有效
发明人：姚固;熊腾青;李如 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种掩膜装置及溅射系统，涉及掩膜板技术领域，能够解决现有技术中由于掩膜条与基板之间间隙较大而造成溅射成膜阴影较大，进而导致产品良率较低的问题。所述掩膜装置包括掩膜板和设置在掩膜板一侧的多个掩膜条；至少一个掩膜条上靠近掩膜板一侧的表面上设置有多个条状的金属结构，多个金属结构沿掩膜条的长度方向间隔排布，金属结构的热膨胀系数大于掩膜条的热膨胀系数。本发明用于溅射成膜。
一种装置溅射系统

[发明专利]一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法-CN201710776234.9有效
发明人：潘晟恺;熊腾青;刘杰;杨凯;乔永康;李如 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2017-08-31 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法，涉及掩膜板清洗设备技术领域，为解决现有的掩膜板清洗系统的对掩膜板清洗效果不好的问题而发明。该掩膜板的夹具，包括：吊架；固定架，所述固定架用于固定掩膜板，所述固定架与所述吊架转动连接，且转动的中心轴线沿所述固定架的横向延伸；第一驱动装置，所述第一驱动装置固定于所述吊架上，并与所述固定架相连接，所述第一驱动装置用于驱动所述固定架相对所述吊架之间的转动。本发明可用于掩膜板的清洗。
一种掩膜板夹具清洗系统方法

[发明专利]掩膜板和掩膜板的制造方法-CN201810548269.1有效
发明人： 熊腾青;李如;乔永康;潘晟恺;刘杰;杨凯;于剑伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜板和掩膜板的制造方法，属于蒸镀技术领域。掩膜板包括：掩膜，掩膜包括掩膜基底以及设置在掩膜基底上的镀层，镀层的热膨胀系数大于掩膜基底的热膨胀系数；其中，掩膜在蒸镀温度下为平整状态，掩膜中的镀层在蒸镀温度下由凸起状态膨胀为平整状态。本发明通过在掩膜上形成热膨胀系数较大的镀层，且使掩膜在蒸镀温度下为平整状态，这样在常温下掩膜就会因为镀层的收缩而呈弯曲状态，将包括该掩膜的掩膜板设置在在蒸镀基板上时，掩膜的边缘不会与待蒸镀基板接触，避免了对待蒸镀基板的损伤。解决了相关技术中掩膜板可能损伤待蒸镀基板的问题。达到了能够避免掩膜板损伤待蒸镀基板的效果。
掩膜板制造方法

[发明专利]蒸镀膜层记录装置及其方法、掩模板组件和蒸镀设备-CN201811090887.2有效
发明人：栾梦雨;熊腾青;胡友元;齐忠胜;毛波;熊先江 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-09-18 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：提供一种蒸镀膜层记录装置及其方法、掩模板组件和蒸镀设备。所述蒸镀膜层记录装置包括：记录掩模板，具有开口部；膜层记录构件，与所述记录掩模板相对设置，在蒸镀期间，蒸镀材料能够通过所述记录掩模板的开口部而被沉积在所述膜层记录构件上；和驱动构件，用于驱动所述记录掩模板与所述膜层记录构件产生相对运动，以改变所述记录掩模板的开口部在所述膜层记录构件上的正投影的位置。
镀膜记录装置及其方法模板组件设备

[发明专利]一种掩模板及其制作方法、显示基板-CN201810058877.4在审
发明人：潘晟恺;熊腾青;乔永康 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2018-01-22 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： C25D1/10 文献下载
摘要：本发明公开一种掩模板及其制作方法、显示基板，涉及显示技术领域，为解决现有的形成掩模板的制作方法不仅生产工艺复杂，良率较低，而且需要较高的制作成本的问题。所述掩模板的制作方法包括：形成一模版，所述模版包括底板和位于所述底板上的多个独立的凸台，所述凸台具有绝缘性；通过电铸工艺在所述模版除所述凸台之外的区域形成金属层；将所述模版与所述金属层分离，形成具有多个通孔的掩模板。本发明提供的掩模板的制作方法用于制作掩模板。
掩模板制作模版凸台底板金属层电铸工艺区域形成显示基板绝缘性生产工艺良率通孔

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