[发明专利]掩膜板的制作方法及掩膜板

说明书

本公开提供了一种掩膜板的制作方法及掩膜板，属于显示技术领域。该掩膜板制作方法包括提供掩模基板，所述掩膜基板包括中间部和位于所述中间部两端的边缘部，所述中间部包括第一区域和至少一个第二区域，所述第一区域围设在所述第二区域的外围；确定所述第一区域和所述第二区域的网孔分布信息；根据所述网孔分布信息，刻蚀所述掩膜基板，于所述第一区域形成第一网格区，于所述第二区域形成第二网格区；于所述第一网格区的至少一侧表面形成柔性绝缘保护膜，所述柔性绝缘保护膜覆盖所述第一网格区的至少一侧表面。该方法有助于提升掩膜板张网效率和张网平整度。此外，本公开提供的方法可避免掩膜板刮伤、击伤待蒸镀基板。

技术领域

本公开涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板的制作方法及掩膜板。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示装置，因其具有自发光、高对比度、响应时间快、低功耗等优点，被认为是具有发展潜力的显示器件，已经成为显示技术领域的主流发展方向。

在OLED显示面板的制造工艺中，需要将各层的蒸镀材料，通过使用相应的掩膜板以蒸镀到基板上，形成显示装置的各个功能层。掩膜板通常包括成膜区和非成膜区，成膜区对应于显示面板的显示区。由于成膜区和非成膜区的结构不同，会使掩膜板在张网时的应力不均，导致掩膜板易产生褶皱和变形，从而影响蒸镀效果，降低产品良率。

所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于提供一种掩膜板的制作方法及掩膜板，该方法有助于提升掩膜板张网效率和张网平整度。此外，本公开提供的方法可避免掩膜板刮伤、击伤待蒸镀基板。

为实现上述发明目的，本公开采用如下技术方案：

根据本公开的第一个方面，提供一种掩膜板的制作方法，包括：

提供掩模基板，所述掩膜基板包括中间部和位于所述中间部两端的边缘部，所述中间部包括第一区域和至少一个第二区域，所述第一区域围设在所述第二区域的外围；

确定所述第一区域和所述第二区域的网孔分布信息；

根据所述网孔分布信息，刻蚀所述掩膜基板，于所述第一区域形成第一网格区，于所述第二区域形成第二网格区；

于所述第一网格区的至少一侧表面形成柔性绝缘保护膜，所述柔性绝缘保护膜覆盖所述第一网格区的至少一侧表面。

在本公开的一种示例性实施例中，确定所述第一区域和所述第二区域的网孔分布信息包括：

设定所述第一区域和所述第二区域的网孔均匀分布，且所述第一区域和所述第二区域的网孔分布信息相同。

在本公开的一种示例性实施例中，确定所述第一区域和所述第二区域的网孔分布信息包括：

建立所述掩膜基板三维模型；

设定所述掩膜基板三维模型的第二区域为开口结构，设定所述掩膜基板三维模型的第一区域为分布有多个网孔的网状结构，以形成掩膜板模型；

模拟所述掩膜板实际张网时的张网条件，获取所述掩膜板模型张网时的褶皱信息；

根据所述掩膜板模型的褶皱信息调节所述掩膜基板三维模型的第一区域的网孔分布信息，直至所述掩膜板模型的褶皱信息满足预设需求。

在本公开的一种示例性实施例中，所述网孔分布信息包括网孔大小和网孔密度。

在本公开的一种示例性实施例中，根据所述网孔分布信息，刻蚀所述掩膜基板，于所述第一区域形成第一网格区，于所述第二区域形成第二网格区包括：