[发明专利]一种红外探测器阵列及其制作方法

摘要

本发明公开了一种红外探测器阵列，从下至上依次包括p型基体、n型像元层、第一钝化层、第一金属接触层、第二钝化层及第二金属接触层；所述n型像元层包括多个按预设二维图案间隔设置的n型掺杂区；所述第一金属接触层与所述第二金属接触层中的一层包括n型延伸区；所述第一金属接触层与所述第二金属接触层中的另一层包括p型延伸区；所述第一金属接触层及所述第二金属接触层非接触设置；所述p型延伸区及所述n型延伸区用于为探测像元提供工作电压；所述探测像元为所述p型基体及所述n型像元层组成的pn结。本发明提升了大阵列规模红外探测器探测像元间的工作偏压一致性，节省了空间。本发明还提供了具有上述优点红外探测器阵列的制作方法。