[发明专利]一种密闭非透明腔室内工件的监控方法、装置和镀膜设备在审
| 申请号： | 202110032065.4 | 申请日： | 2021-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN113359539A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042;G06K9/46 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 秦亚群;彭一波 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市宣城经*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种密闭非透明腔室内工件的监控方法，用于装载工件的载板能在密闭非透明腔室内运行，包括以下步骤：检测进入密闭非透明腔室的载板上是否放置有工件；对载板进行初次识别，并获得初次识别信息；依据初次识别信息生成工艺设备的工艺运行信息；向针对于密闭非透明腔室内的工件执行操作的工艺设备发送的工艺运行信息，工艺运行信息包括运行信息和不运行信息；对载板上放置有工件的位置执行运行信息，对载板上无工件的位置执行不运行信息；载板持续运行和监控，直至载板输出密闭非透明腔室。本发明通过监控方法对工件的状态进行监控，能够实时了解及掌握工件的工艺状态，避免密闭非透明腔室内载板上无工件的位置仍然进行非必要的操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密闭 透明 室内 工件 监控 方法 装置 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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