[发明专利]一种密闭非透明腔室内工件的监控方法、装置和镀膜设备

权利要求书

1.一种密闭非透明腔室内工件的监控方法，用于装载工件的载板能在密闭非透明腔室内运行，其特征在于：包括以下步骤：

检测进入所述密闭非透明腔室的所述载板上是否放置有所述工件；

对所述载板进行初次识别，并获得初次识别信息；

依据所述初次识别信息生成工艺设备的工艺运行信息；

向针对于所述密闭非透明腔室内的所述工件执行操作的工艺设备发送的所述工艺运行信息，所述工艺运行信息包括运行信息和不运行信息；

对所述载板上放置有所述工件的位置执行运行信息，对所述载板上无所述工件的位置执行不运行信息；

所述载板持续运行和监控，直至所述载板输出所述密闭非透明腔室。

2.根据权利要求1所述的密闭非透明腔室内工件的监控方法，其特征在于：所述初次识别信息包括所述载板上是否有所述工件、所述工件在所述载板上的位置、所述载板上所述工件的总数量、所述载板上所述工件装载率。

3.根据权利要求2所述的密闭非透明腔室内工件的监控方法，其特征在于：所述初次识别信息经所述载板上有无工件的颜色差异获取。

4.根据权利要求1至3任一项所述的密闭非透明腔室内工件的监控方法，其特征在于：监控方法还包括以下步骤：

对所述载板进行第二次识别，获取第二次识别信息；

将所述第二次识别信息与所述初次识别信息进行对比：

若对比结果相同，则判断工艺完成；

若对比结果不相同，则判断工艺有误，并发送报警信号。

5.根据权利要求4所述的密闭非透明腔室内工件的监控方法，其特征在于：所述第二次识别信息包括所述载板上是否有所述工件、所述工件在所述载板上的位置、所述载板上所述工件的总数量、所述载板上所述工件装载率中的一种或几种。

6.一种密闭非透明腔室的监控装置，其特征在于：包括：

第一识别设备，其位于所述密闭非透明腔室前端，用于检测进入所述密闭非透明腔室的所述载板上是否放置有所述工件；以及，对所述载板进行初次识别，并获得初次识别信息；

控制主机，其与所述第一识别设备通信连接，用于依据所述初次识别信息生成工艺运行信息，所述工艺运行信息包括运行信息和不运行信息；

所述控制主机还与工艺设备通信连接，用于将所述工艺运行信息发送至所述工艺设备，使得所述工艺设备对所述载板放置有所述工件的位置执行运行信息，对所述载板上无所述工件的位置执行不运行信息。

7.根据权利要求6所述的密闭非透明腔室的监控装置，其特征在于：还包括：位于所述密闭非透明腔室后端的第二识别设备，所述第二识别设备用于对所述载板进行第二次识别，获取第二次识别信息；

所述控制主机还与所述第二识别设备通信连接，用于接收所述第二次识别信息，并将所述第二次识别信息与所述初次识别信息对比，判断工艺是否正常。

8.根据权利要求7所述的密闭非透明腔室内工件的监控装置，其特征在于：所述第一识别设备、所述第二识别设备包括相机；

或者，所述第一识别设备、所述第二识别设备包括设置于所述载板下方的传感器。

9.根据权利要求7或8任一项所述的密闭非透明腔室的监控装置，其特征在于：还包括显示器件，所述显示器件与所述控制主机通信连接，用于实时显示所述初次识别信息、所述第二次识别信息和所述工艺设备运行状态。

10.一种镀膜设备，其特征在于：包括密闭非透明腔室和权利要求6至9中任一项所述的监控装置。