[发明专利]一种三维铁电存储器、制作方法及电子设备

摘要

本申请提供了一种三维铁电存储器的制作方法，该方法能够在保证三维铁电存储器具有较好的耐久性，同时又能降低三维铁电存储器制作过程中的刻蚀难度。该方法包括：在衬底上形成堆叠层，该堆叠层包括堆叠且交替设置的隔离层和牺牲层；在堆叠层中设置多列第一电压线，在多列第一电压线中任意相邻的两列第一电压线之间设置隔离凹槽；刻蚀掉堆叠层中的牺牲层，并形成与隔离层堆叠且交替设置的金属层以得到存储层，金属层包括铁电层和多个第二电压线，铁电层包围多个第二电压线和多列第一电压线位于金属层的部分，以使金属层中形成MFM结构，保证了该三维铁电存储器的耐久性。同时由于牺牲层为易腐蚀的材料，从而可以降低制作过程中的刻蚀难度。