专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种存储器件、电子设备-CN202080107461.2在审
  • 秦健鹰;杨喜超;李小波;胡小剑 - 华为技术有限公司
  • 2020-12-29 - 2023-08-15 - H10B43/27
  • 一种存储器件、电子设备,在存储器件中,铁电层(113)、与铁电层(113)接触的第一导体层(112)、与铁电层(113)接触的导体结构(116)可以构成一个存储单元,铁电层(113)、与铁电层(113)接触的第二导体层(114)、与铁电层(113)接触的导体结构(116)可以构成一个存储单元,实现铁电存储器的三维化,一层铁电层(113)中可以用于形成两个存储单元,实现了存储容量的进一步提升。隔离结构(115)尺寸较大,相较于深孔而言刻蚀难度小,导体结构(116)所在的深孔形成时的刻蚀对象是绝缘材料的隔离结构,避开了难刻蚀的铁电层(116)和导体层(112),因此其刻蚀精度更高,将深孔设置在隔离结构(115)之内,在保证器件功能的前提下节省了器件面积,提高器件集成度,使三维的铁电存储器具有更加优异的性能。
  • 一种存储器件电子设备
  • [发明专利]一种铁电存储器及电子设备-CN202080104665.0在审
  • 江安全;杨喜超;张岩;江钧;汪超;魏侠;秦健鹰 - 华为技术有限公司;复旦大学
  • 2020-11-20 - 2023-07-21 - G11C11/22
  • 一种铁电存储器及电子设备,涉及铁电存储技术领域,用于对铁电存储元件(20)的开启电压进行调节。该铁电存储器包括基底(200)以及设置在基底(200)上的第一电压线、第二电压线以及铁电存储元件(20);铁电存储元件(20)包括设置在基底(200)上的铁电薄膜层(201);铁电薄膜层(201)包括向远离基底(200)一侧凸起的铁电存储单元(2011);铁电存储元件(20)还包括相对设置于铁电存储单元(2011)两侧的第一电极(202)和第二电极(203);第一电极(202)与铁电存储单元(2011)的第一表面和侧面均接触,第二电极(203)与铁电存储单元(2011)的第一表面和/或侧面接触;第一表面为铁电存储单元(2011)的与基底(200)平行且远离基底(200)的表面;其中,第一电极(202)与第一电压线电连接;第二电极(203)与第二电压线电连接。
  • 一种存储器电子设备
  • [发明专利]一种存储器件及其制造方法、电子设备-CN202080102949.6在审
  • 李小波;秦健鹰;杨喜超;胡小剑 - 华为技术有限公司
  • 2020-11-27 - 2023-04-25 - H10B69/00
  • 本申请实施例公开了一种存储器件及其制造方法、电子设备,存储器件包括衬底、衬底上的存储层、贯穿存储层的隔离沟槽、隔离沟槽中填充的绝缘材料、纵向贯穿绝缘材料的导体塞,存储层可以包括交替层叠的多层铁电层和多层导体层,在隔离沟槽的侧壁上,铁电层具有凸出导体层的凸出部分,导体塞与铁电层的凸出部分接触,而与导体层通过绝缘材料隔离开,这样铁电层、与铁电层接触的导体层、与铁电层接触的导体塞可以构成一个存储单元,互不接触的导体层和导体塞可以作为两个电极,也就是说,本申请实施例中通过铁电层和导体层的堆叠实现铁电存储器的三维化,提高器件的存储密度,同时降低刻蚀难度,提高刻蚀精度以及可靠性,提高器件性能。
  • 一种存储器件及其制造方法电子设备
  • [发明专利]一种铁电存储器及电子设备-CN202080103171.0在审
  • 秦健鹰;杨喜超;李小波;胡小剑 - 华为技术有限公司
  • 2020-11-30 - 2023-03-24 - H01L27/10
  • 一种铁电存储器(1)及电子设备,铁电存储器(1)包括:至少一个存储单元(10);存储单元(10)包括:外侧电极(101)、中心电极(102),以及铁电结构(103);铁电结构(103)包括:铁电材料,以及在第一方向(F1)上贯穿铁电材料的通孔(U);中心电极(102)为位于通孔(U)内的条状结构;外侧电极(101)包围部分铁电结构(103);铁电结构(103)的初始电极化方向(T)为平行于第一平面的任一方向,第一平面为垂直于第一方向(F1)且穿过外侧电极(101)的平面。铁电存储器(1)将外侧电极(101)设置为包围部分铁电结构(103),中心电极(102)位于铁电结构(103)的通孔(U)内,在铁电存储器(1)的制作过程中,只要使铁电结构(103)的初始极化方向(T)平行于第一平面即可,无需精确设计和计算铁电材料的极化方向和微纳加工方向,对加工精度的要求较低,制作工艺的难度较小。
  • 一种存储器电子设备
  • [发明专利]一种铁电存储器及其制作方法、电子设备-CN202080098833.X在审
  • 杨喜超;王小渭;秦健鹰;张岩;魏侠 - 华为技术有限公司
  • 2020-05-30 - 2022-11-15 - H01L27/11514
  • 一种铁电存储器及其制作方法、电子设备,涉及存储技术领域,用于改善随FRAM堆叠数量的增加,工艺步骤的数量以及成本随之增加的问题。铁电存储器包括衬底以及S个存储单元阵列。上述S个存储单元阵列可以沿与衬底平行的第一方向依次排列于衬底上,相邻两个存储单元阵列之间设置有隔离沟槽。在制作上述铁电存储器时,可以在衬底上制作复合层叠结构,然后在同一次制作工艺中制作贯穿上述复合层叠结构的多个上述隔离沟槽。接下来,可以在同一次制作工艺中制作M条位线。然后在同一次制作工艺中制作N个第一层间字线,从而同时完成S个存储单元阵列的制作。
  • 一种存储器及其制作方法电子设备
  • [发明专利]三维铁电存储器及电子设备-CN202080098708.9在审
  • 魏侠;杨喜超;张岩;秦健鹰 - 华为技术有限公司
  • 2020-04-29 - 2022-11-04 - H01L27/11504
  • 本申请实施例属于存储设备技术领域,具体涉及一种三维铁电存储器及电子设备。本申请实施例旨在解决相关技术中三维铁电存储器的尺寸较大,难以实现三维铁电存储器的小型化的问题。本申请实施的三维铁电存储器及电子设备,存储层包括参考层,在参考层背离基底的一侧设置有第一介质层,第一介质层包括多个间隔设置的第一存储块,在参考层朝向基底的一侧设置有第二介质层,第二介质层包括多个间隔设置的第二存储块;第一介质层和第二介质层共用一个参考层,与一个参考层对应设置一个介质层相比,减少了参考层的数量,进而在垂直于基底的方向减小了三维铁电存储器的尺寸,进而减小了三维铁电存储器的体积,实现了三维铁电存储器的小型化。
  • 三维存储器电子设备
  • [发明专利]一种三维铁电存储器、制作方法及电子设备-CN202080092634.8在审
  • 张岩;杨喜超;魏侠;秦健鹰 - 华为技术有限公司
  • 2020-05-29 - 2022-08-19 - H01L27/10
  • 本申请提供了一种三维铁电存储器的制作方法,该方法能够在保证三维铁电存储器具有较好的耐久性,同时又能降低三维铁电存储器制作过程中的刻蚀难度。该方法包括:在衬底上形成堆叠层,该堆叠层包括堆叠且交替设置的隔离层和牺牲层;在堆叠层中设置多列第一电压线,在多列第一电压线中任意相邻的两列第一电压线之间设置隔离凹槽;刻蚀掉堆叠层中的牺牲层,并形成与隔离层堆叠且交替设置的金属层以得到存储层,金属层包括铁电层和多个第二电压线,铁电层包围多个第二电压线和多列第一电压线位于金属层的部分,以使金属层中形成MFM结构,保证了该三维铁电存储器的耐久性。同时由于牺牲层为易腐蚀的材料,从而可以降低制作过程中的刻蚀难度。
  • 一种三维存储器制作方法电子设备
  • [发明专利]铁电存储器以及电子设备-CN202080090641.4在审
  • 张岩;杨喜超;魏侠;秦健鹰 - 华为技术有限公司
  • 2020-02-20 - 2022-08-12 - H01L27/11507
  • 一种铁电存储器(100)和电子设备,该铁电存储器(100)包括铁电存储单元(10)、第一电压线(m)和第二电压线(n),铁电存储单元(10)包括铁电薄膜层(101)、第一电极(102)和第二电极(103);所述第一电极(102)与所述第一电压线(m)连接,所述第二电极(103)与所述第二电压线(n)连接;所述第一电极(102)和所述第二电极(103)之间由所述铁电薄膜层(101)间隔开;沿所述铁电薄膜层(101)的厚度方向,第一电极(102)包括第一表面和第二表面,第二电极(103)包括第一表面和第二表面,第一电极(102)的第一表面和第二电极(103)的第一表面位于同一侧,第一电极(102)的第二表面和第二电极(103)的第二表面位于同一侧;其中,第一电极(102)的第二表面与第二电极(103)的第二表面位于不同的水平面。从而可以增强第一电极(102)和第二电极(103)之间的铁电薄膜层(101)所形成的电畴壁(104)的电导率,提高铁电存储器(100)的读写速度。
  • 存储器以及电子设备

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