[发明专利]正型感光性树脂组合物、固化膜和抗蚀膜在审
| 申请号： | 202080089372.X | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114902135A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 今田知之;长田裕仁 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;C08G8/10 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为正型感光性树脂组合物、以及由该正型感光性树脂组合物形成的固化膜和抗蚀膜，所述正型感光性树脂组合物含有：(A)酚醛清漆型酚醛树脂，其在以摩尔比计为(a1)：(a2)：(a3)＝1.0：0.3～0.8：0.3～0.8的范围内具有衍生自间甲酚的结构单元(a1)、衍生自苯甲醛的结构单元(a2)、和衍生自水杨醛的结构单元(a3)；(B)选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺前体和聚苯并噁唑前体中的1种以上的树脂；(C)感光剂；和，(D)溶剂。根据本发明的正型感光性树脂组合物，可以得到除具有高灵敏度之外还在低温固化下具有耐化学药品性的固化膜和抗蚀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 固化 抗蚀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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