[发明专利]正型感光性树脂组合物、固化膜和抗蚀膜

权利要求书

1.一种正型感光性树脂组合物，其含有：

(A)酚醛清漆型酚醛树脂，其在以摩尔比计为(a1)：(a2)：(a3)＝1.0：0.3～0.8：0.3～0.8的范围内具有衍生自间甲酚的结构单元(a1)、衍生自苯甲醛的结构单元(a2)和衍生自水杨醛的结构单元(a3)；

(B)选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺前体和聚苯并噁唑前体中的1种以上的树脂；

(C)感光剂；和，

(D)溶剂。

2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中，所述(A)酚醛清漆型酚醛树脂是在有机溶剂中使间甲酚、苯甲醛和水杨醛在以摩尔比计为间甲酚：苯甲醛：水杨醛＝1.0：0.3～0.8：0.3～0.8的范围内、用酸催化剂进行缩聚而得到的。

3.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其中，所述(A)酚醛清漆型酚醛树脂中的、衍生自间甲酚的结构单元(a1)、衍生自苯甲醛的结构单元(a2)和衍生自水杨醛的结构单元(a3)的含量的总计为30质量％以上。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其中，所述(A)酚醛清漆型酚醛树脂的重均分子量为1000以上至7000以下的范围。

5.一种固化膜，其是由权利要求1～4中任一项所述的正型感光性树脂组合物形成的。

6.一种抗蚀膜，其是由权利要求1～4中任一项所述的正型感光性树脂组合物形成的。