[发明专利]工件的表面缺陷检测装置及检测方法、工件的表面检查系统以及程序在审

专利信息
申请号: 202080067925.1 申请日: 2020-09-04
公开(公告)号: CN114450580A 公开(公告)日: 2022-05-06
发明(设计)人: 植木章太;矢桥晓;长井庆郎;吉田龙一 申请(专利权)人: 柯尼卡美能达株式会社
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01B11/25;G01B11/30;G06T5/50;G06T7/00;G06T7/11
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 程晨
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 使用多个图像计算多个图像中的统计性的偏差值来制作合成图像,根据所制作的合成图像来进行缺陷检测,其中所述多个图像是通过在利用在作为表面缺陷的检测对象的工件(1)的同一位置引起周期性的亮度变化的照明装置(6)对工件进行照明的状态下摄像单元(8)连续地对工件进行摄像而得到的,并且所述多个图像是在周期性的亮度变化的1个周期中得到的。
搜索关键词: 工件 表面 缺陷 检测 装置 方法 检查 系统 以及 程序
【主权项】:
暂无信息
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