[发明专利]工件的表面缺陷检测装置及检测方法、工件的表面检查系统以及程序

权利要求书

1.一种工件的表面缺陷检测装置，具备：

图像合成单元，使用多个图像，计算所述多个图像中的统计性的偏差值来制作合成图像，所述多个图像是通过在利用在作为表面缺陷的检测对象的工件的同一位置引起周期性的亮度变化的照明装置对工件进行照明的状态下摄像单元连续地对工件进行摄像而得到的，并且所述多个图像是在所述周期性的亮度变化的1个周期中得到的；以及

检测单元，根据由所述图像合成单元制作的合成图像来进行缺陷检测。

2.根据权利要求1所述的工件的表面缺陷检测装置，其中，

所述统计性的偏差值是方差、标准差、半值宽度中的至少任意一个。

3.根据权利要求1或2所述的表面缺陷检测装置，其中，

所述图像合成单元针对每个像素进行所述统计性的偏差值的计算，并且针对关于所述多个图像的各像素而选择的最佳的采样候补来进行所述统计性的偏差值的计算。

4.根据权利要求3所述的表面缺陷检测装置，其中，

所述图像合成单元在从所述多个图像排除各像素中的成为偏差值降低因素的中间灰度的采样值后进行偏差值的计算，并用作关于该像素的偏差值。

5.一种工件的表面检查系统，具备：

照明装置，在作为表面缺陷的检测对象的工件的同一位置引起周期性的亮度变化；

摄像单元，在利用所述照明装置对工件进行照明的状态下，连续地对工件进行摄像；以及

权利要求1～4中的任意一项所述的工件的表面缺陷检测装置。

6.一种工件的表面缺陷检测方法，其中，工件的表面缺陷检测装置执行：

图像合成步骤，使用多个图像，计算所述多个图像中的统计性的偏差值来制作合成图像，所述多个图像是通过在利用在作为表面缺陷的检测对象的工件的同一位置引起周期性的亮度变化的照明装置对工件进行照明的状态下摄像单元连续地对工件进行摄像而得到的，并且所述多个图像是在所述周期性的亮度变化的1个周期中得到的；以及

检测步骤，根据通过所述图像合成步骤制作的合成图像来进行缺陷检测。

7.根据权利要求6所述的工件的表面缺陷检测方法，其中，

所述统计性的偏差值是方差、标准差、半值宽度中的至少任意一个。

8.根据权利要求6或7所述的工件的表面缺陷检测方法，其中，

在所述图像合成步骤中，针对每个像素进行所述统计性的偏差值的计算，并且针对关于所述多个图像的各像素而选择的最佳的采样候补来进行所述统计性的偏差值的计算。

9.根据权利要求8所述的工件的表面缺陷检测方法，其中，

在所述图像合成步骤中，在从所述多个图像排除各像素中的成为偏差值降低因素的中间灰度的采样值后进行偏差值的计算，并用作关于该像素的偏差值。

10.一种程序，用于使计算机执行权利要求6～9中的任意一项所述的工件的表面缺陷检测方法。