[发明专利]工件的表面缺陷检测装置及检测方法、工件的表面检查系统以及程序

说明书

使用多个图像计算多个图像中的统计性的偏差值来制作合成图像，根据所制作的合成图像来进行缺陷检测，其中所述多个图像是通过在利用在作为表面缺陷的检测对象的工件(1)的同一位置引起周期性的亮度变化的照明装置(6)对工件进行照明的状态下摄像单元(8)连续地对工件进行摄像而得到的，并且所述多个图像是在周期性的亮度变化的1个周期中得到的。

技术领域

本发明涉及当在作为表面缺陷的检测对象的车体等工件(work)中对工件的涂装面等被测定部位照射引起例如如明暗图案那样的周期性的亮度变化的照明光时，根据由摄像单元得到的多个图像制作合成图像，并根据该合成图像进行表面缺陷的检测的工件的表面缺陷检测装置及检测方法、工件的表面检查系统以及程序。

背景技术

在合成多个图像制作合成图像来检查工件的表面的方法中，为了缩短处理时间，需要根据较少的张数的图像制作合成图像、并且确保作为检查图像的质量。作为在这样的检查方法中使用的合成图像，以往，已知使用上限值或下限值、或者上限值和下限值的差分制作的合成图像。例如，在专利文献1中，公开了一种使用周期性的亮度变化的振幅幅度、平均值、下限值及相位差、以及上限值及对比度中的至少任意一个来生成新图像以检测缺陷的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5994419号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，包括专利文献1所记载的检查方法在内，在以往的检查方法中使用的合成图像存在对单独地发生的噪声的灵敏度高(S/N比低)、而且在要合成的图像的张数成为一定数量以上时无法提高缺陷检测精度这样的问题。而且，使用振幅值、相位值的图像合成还存在计算成本变高这样的问题。

本发明是鉴于这样的技术性背景而做出的，其目的在于提供一种即使图像张数少也能够制作S/N比高且缺陷检测精度也高的合成图像来检测工件的表面缺陷的工件的表面缺陷检测装置及检测方法、工件的表面检查系统以及程序。

课题的解决手段

上述目的通过以下的手段来达成。

(1)一种工件的表面缺陷检测装置，具备：图像合成单元，使用多个图像，计算所述多个图像中的统计性的偏差值来制作合成图像，所述多个图像是通过在利用在作为表面缺陷的检测对象的工件的同一位置引起周期性的亮度变化的照明装置对工件进行照明的状态下摄像单元连续地对工件进行摄像而得到的，并且所述多个图像是在所述周期性的亮度变化的1个周期中得到的；以及检测单元，根据由所述图像合成单元制作的合成图像来进行缺陷检测。

(2)根据前项1所述的工件的表面缺陷检测装置，其中，所述统计性的偏差值是方差、标准差、半值宽度中的至少任意一个。

(3)根据前项1或2所述的表面缺陷检测装置，其中，所述图像合成单元针对每个像素进行所述统计性的偏差值的计算，并且针对关于所述多个图像的各像素而选择的最佳的采样候补来进行所述统计性的偏差值的计算。

(4)根据前项3所述的表面缺陷检测装置，其中，所述图像合成单元在从所述多个图像排除各像素中的成为偏差值降低因素的中间灰度的采样值后进行偏差值的计算，并用作关于该像素的偏差值。

(5)一种工件的表面检查系统，具备：照明装置，在作为表面缺陷的检测对象的工件的同一位置引起周期性的亮度变化；摄像单元，在利用所述照明装置对工件进行照明的状态下，连续地对工件进行摄像；以及前项1～4中的任意一项所述的工件的表面缺陷检测装置。