[发明专利]六自由度工件载台在审
| 申请号： | 202080041644.9 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN113994189A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | A·巴朗 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01B11/00;H01L21/687;H01L21/68;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 第二载台安置于第一载台上。所述第二载台提供六自由度。固持工件的卡盘安置于所述第二载台上。实现三个方向上的移动的致动器安置于所述第二载台上。在检验所述卡盘上的所述工件期间，所述第一载台及所述第二载台独立于彼此移动。 | ||
| 搜索关键词： | 自由度 工件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080041644.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带有自调整机构的气动离合器致动器
- 下一篇：反向压力罐端部
