[发明专利]六自由度工件载台

权利要求书

1.一种系统，其包括：

第一载台，其经配置以在至少X方向及垂直Y方向上移动；

第二载台，其安置于所述第一载台上，其中所述第二载台提供六自由度；

卡盘，其安置于所述第二载台上，其中所述卡盘经配置以固持工件；

至少一个X方向致动器，其经配置以在所述X方向上移动所述第二载台，其中所述X方向致动器安置于所述第二载台上；

至少一个Y方向致动器，其经配置以在所述Y方向上移动所述第二载台，其中所述Y方向致动器安置于所述第二载台上；

至少一个Z方向致动器，其经配置以在Z方向上移动所述第二载台，其中所述Z方向致动器安置于所述第二载台上，且其中所述Z方向垂直于所述X方向及所述Y方向两者；

两个干涉仪反射镜，其安置于所述第二载台的垂直边缘上；

至少一个垂直位置反馈传感器，其安置于所述第二载台上；及

至少一个平衡弹簧，其介于所述第一载台与所述第二载台之间。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一载台具有比所述第二载台更宽的移动范围。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述系统包含安置于所述第二载台上的四个所述Z方向致动器。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述系统包含安置于所述第二载台上的两个所述Y方向致动器。

5.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括基底板，其中所述第一载台安置于所述基底板上。

6.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括两个激光干涉仪，其中所述激光干涉仪中的每一者将激光引导于所述干涉仪反射镜中的一者处。

7.根据权利要求1所述的系统，其中所述工件是半导体晶片或光罩。

8.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括半导体检验系统，所述半导体检验系统经配置以将光束引导于所述卡盘处。

9.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括处理器，所述处理器经配置以发送用于所述第一载台及所述第二载台相对于彼此的移动的指令，其中所述处理器与所述X方向致动器、所述Y方向致动器、所述Z方向致动器及所述垂直位置反馈传感器电子通信。

10.一种方法，其包括：

提供系统，其包含第一载台、安置于所述第一载台上的第二载台及安置于所述第二载台上的卡盘，其中所述第一载台经配置以在至少X方向及垂直Y方向上移动，且其中所述第二载台提供六自由度；

将工件安置于所述卡盘上，其中所述工件是半导体晶片或光罩；

使所述第一载台及所述第二载台独立于彼此移动；及

检验在所述卡盘上的所述工件。

11.根据权利要求10所述的方法，其中移动所述第二载台包含使用安置于所述第二载台上的至少一个X方向致动器在所述X方向上移动所述第二载台。

12.根据权利要求10所述的方法，其中移动所述第二载台包含使用安置于所述第二载台上的至少一个Y方向致动器在所述Y方向上移动所述第二载台。

13.根据权利要求10所述的方法，其中移动所述第二载台包含使用安置于所述第二载台上的至少一个Z方向致动器在Z方向上移动所述第二载台，且其中所述Z方向垂直于所述X方向及所述Y方向两者。

14.根据权利要求10所述的方法，其进一步包括使用激光干涉仪确定所述第二载台在所述X方向上的位置，其中将激光引导于安置于所述第二载台上的反射镜处。

15.根据权利要求10所述的方法，其进一步包括使用激光干涉仪确定所述第二载台在所述Y方向上的位置，其中将所述激光引导于安置于所述第二载台上的反射镜处。