[发明专利]具有低电感栅极交叉的功率半导体模块在审

专利信息
申请号: 202080030477.8 申请日: 2020-04-02
公开(公告)号: CN113728428A 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: A·施罗德;S·基辛;F·莫恩;J·舒德勒 申请(专利权)人: 日立能源瑞士股份公司
主分类号: H01L23/48 分类号: H01L23/48;H01L25/07;H01L25/18;H01L23/373;H01L23/498;H01L23/538
代理公司: 北京市汉坤律师事务所 11602 代理人: 王其文;张涛
地址: 瑞士*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种功率半导体模块(10)包括:主衬底(12),该主衬底具有被分隔成导电区域(24)的主导电层(18);功率半导体芯片(22),其中每个功率半导体芯片(22)具有第一功率电极(38)、第二功率电极(40)和栅极电极(42),其中每个功率半导体芯片(22)利用第一功率电极(38)结合到主导电层(18),并且其中第一组(36a)的功率半导体芯片(22)经由第二功率电极(40)并联连接,并且第二组(36b)的功率半导体芯片(22)经由第二功率电极(40)并联连接;电连接到第一组(36a)中的功率半导体芯片(22)的第一电极(38)、第二电极(40)或栅极电极(42)中的一个的第一控制导体(62a、64a),以及电连接到第二组(36b)中的功率半导体芯片(22)的第一电极(38)、第二电极(40)或栅极电极(42)中的一个的第二控制导体(62b、64b);第一绝缘层(54)和第一绝缘层(54)上的第一导电层(46),其中第一控制导体的至少一部分由第一导电层的至少一部分(58a,58b)提供;以及第二绝缘层(56)和第二绝缘层(56)上的第二导电层(48),其中第二控制导体(56)的至少一部分由第二导电层(48)的至少一部分(60a,60b)提供。主导电层(18)、第一绝缘层(54)、第一导电层(46)、第二绝缘层(56)和第二导电层(48)彼此叠置。
搜索关键词: 具有 电感 栅极 交叉 功率 半导体 模块
【主权项】:
暂无信息
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