[实用新型]一种硅片抛光后用中转装置

摘要

一种硅片抛光后用中转装置，包括载有水液的放置槽以及在放置槽上设有用于支撑硅片的承载组件和用于向硅片单侧面喷液的喷液组件；承载组件被置于放置槽内侧并使硅片悬空设置，且承载组件带动硅片沿其高度方向调整位置；喷液组件贯穿放置槽且被置于承载组件围成图形的外接圆内；承载组件与硅片外壁面接触并使硅片靠近放置槽一侧的平面位于放置槽内水液面处，承载组件支撑硅片上升以离开中转装置。本实用新型主要用于对抛光后的硅片进行中转暂存，可稳定放置硅片并可调整硅片放置位置，还可减少液流对靠近放置槽一侧的硅片平面的接触；同时使抛光后的硅片可持续地流转暂存，提高抛光和清洗的联动性，以及生产效率。