[实用新型]一种半导体芯片生产传送装置有效
申请号: | 202022851607.4 | 申请日: | 2020-12-01 |
公开(公告)号: | CN214505461U | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 占方耀 | 申请(专利权)人: | 苏州奥泓创自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/78;B08B1/00;B08B15/00 |
代理公司: | 重庆创新专利商标代理有限公司 50125 | 代理人: | 沈红星 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体芯片生产传送装置,包括箱体,所述第一旋转横轴上固定连接有第一传动轮,所述箱体的内壁上转动连接有第二旋转横轴,所述第一传动轮与第二传动轮通过传动带相连接,所述第二旋转横轴上连接有滑动套栓,所述滑动套栓上固定连接有刷头,所述箱体的一侧设有通风口,所述通风口处固定连接有收集箱,所述收集箱上设有开口,所述开口处设有风机。本实用新型结构合理,不仅可以通过固定装置,使得能够便捷的将不同规格的晶圆固定在传动轨上,提高其适用性,且通过便捷拆装装置,使得能够便捷更换与晶圆适配的钻石刀,同时通过风机将清理后的碎屑吸走,保证不会影响切割精度。 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造