[实用新型]一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置有效
| 申请号： | 202022754757.3 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN214736213U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 陈宏;郝贵荣;杜晶;梁浩;张国威;李庆 | 申请（专利权）人： | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 030060 山西省晋中市榆次*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置，包括长度调节杆，长度调节杆的两侧设置有与坩埚内壁贴合的弧形弹性支撑部。弧形弹性支撑部包括固定相连的第一弧形片和第二弧形片，两个弧形片可以形成可受力的弹簧板，当受力超出弹簧板范围会发生形变，从而保证坩埚不会被从内部撑开而损伤坩埚，两根杆体，中间可以对接在一起，通过中间的螺丝扣转动，调节长度调节杆的长度，受力作用在坩埚内壁，然后即可以转动坩埚，微调坩埚的位置，使坩埚四周的距离在允许的误差范围内。本实用新型结构简单，制作成本低，减少坩埚操作中的人工成本，提高蓝宝石晶体生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 单晶炉 坩埚 位移 装置 | ||
【主权项】：
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